关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转3726
仪器信息网认证电话,请放心拨打
公司简介
资质荣誉
手机扫码查看
核心参数
仪器种类: 国产等离子体表面处理仪
射频频率: 40KHz
功率: 10-300W
设备尺寸: D300xΦ150mm
样品腔容积: 5L
样品腔材质: 石英真空仓
工作气体: Ar、N₂、O₂、H₂、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合气体等(可选)
控制方式: 电感耦合
展位推荐
VGB-P系列手套箱专用等离子清洗机
CIF-RIE反应离子刻蚀机
CIF中试生产型等离子清洗机CPC15/35/80/120/150
CIF中试型等离子清洗机CPC-10系列
特别适合于大学,科研院所和微电子、半导体企业 实验室,对电路板、外延片、芯片、环氧基树脂、MEMS制造过程中牺牲层,干刻或湿刻处理前或后,对基材进行聚合物剥离、金属剥离、掩膜材料等光刻胶去除,以及晶圆表面预处理等。
产品特点
◆ 7 寸彩色触摸屏互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。
◆ PLC 工控机控制整个去胶过程,手动、自动两种工作模式。
◆ 石英真空舱,全真空管路系统采用 316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
◆ 可选用石英舟,更适合晶元硅片去胶应用。
◆ 采用花洒式多孔道进气方式,改变单孔进气不均匀问题。
◆ 采用防腐数字流量计,实现对气体输入精准控制。标配双路气体输送系统,可选多气路气体输送系统,气体分配均匀。 可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体。
◆ HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
◆ 处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。
◆ 样品处理温度低,无热损伤和热氧化。
◆ 安全保护,舱门打开,自动关闭电源,机器运行、停止提示。
技术参数
型号
SPB5
SPB5plus
舱体尺寸
D300xΦ150mm
舱体容积
5.2L
舱体材质
石英玻璃
射频电源
40KHz
13.56MHz
匹配器
自动匹配
激发方式
电感耦合(ICP)
射频功率
0-1000W 可调
0-300W 可调(可选 0-600W)
最大处理尺寸
Φ150m
气体控制
质量流量计(MFC)(标配单路,可选双路)流量范围 0-500SCCM(可调)
工艺气体
Ar、N ₂、O ₂、H ₂或其他混合气体等(可选)
时间设定
1-99 分 59 秒
真空泵
抽速约 8m³/h
气体稳定时间
1 分钟
极限真空
=1Pa
产品尺寸
L550xW550xH420mm
包装尺寸
L650xW610xH620mm
电源
AC220V 50/60Hz,1152/452(752)W 所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。
整机重量
52kg
企业名称
华仪行(北京)科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91110106085450966N
成立日期
2014-02-24
注册资本
1005
经营范围
技术开发、技术咨询、技术服务;销售仪器仪表、化工产品、玻璃制品、教学设备、办公设备、电子产品、五金交电、计算机软硬件;维修仪器仪表;货物进出口。
公司地址
丰台区科兴路7号国际企业孵化中心301室
客服电话
CIF等离子体汽化接枝仪
臭氧中和器
CIF实验室型等离子清洗机CPC-G系列
CIF实验室型等离子清洗机CPC-F系列
UV Ozone Cleaner
匀胶旋涂仪
CIF实验室废液收集系统
CIF自动酸蒸清洗器AC-ETC-AT
CIF智能真空赶酸系统VB20AT
SPS-EUROPE 匀胶机
CIF紫外臭氧清洗机
CIF旋涂机
CIF透射电镜样品杆清洗机
CIF扫描电镜等离子清洗机
CIF烤胶机
CIF尿碘消解仪VB80
CIF透射电镜样品杆存储仪
CIF低温等离子有机质去除仪
手机版:
CIF---等离子去胶机
赛福国际集团有限公司
沟通底价
提交后,商家将派代表为您专人服务
获取验证码
{{maxedution}}s后重新发送
公司名称: 华仪行(北京)科技有限公司
公司地址: 丰台区科兴路7号国际企业孵化中心301室 联系人: 孙先生 邮编: 100070 联系电话: 400-860-5168转3726
恒温器 电热消解仪 紫外臭氧清洗仪
CIF等离子清洗机 CIF粉体等离子清洗机 CIF电镜专用等离子清洗机
仪器信息网APP
展位手机站
产品介绍 工商信息