CF4 气体分析仪

CF₄气体分析仪GASERA ONE 概述

GASERA ONE多气体分析仪基于激光光声光谱技术，拥有独特的探测器和光源，广泛应用于科研、工业和其他领域；其中探测器是超高灵敏度且拥有专利的增强型悬臂梁光学麦克风技术。

CF₄气体广泛应用于半导体制造、环境监测及工业安全等领域。光声光谱技术通过检测气体吸收光能后产生的声信号，实现高灵敏度、高稳定性的CF₄浓度测量。

CF₄气体分析仪GASERA ONE-解决方案

通过选择最佳的光源类型，GASERA ONE适合多种应用需求；

对于更复杂的测量方案，几个GASERA ONE可联用为应用提供一个简单解决方案。

CF₄气体分析仪GASERA ONE-操作

GASERA ONE为用户提供了一个简单而直观的高分辨率显示器和控制按钮。此外，用户可以通过智能手机，平板电脑或其它设备控制GASERA ONE。

CF₄气体分析仪GASERA ONE-技术

• 工作原理：激光光声光谱

• 具有专利的超灵敏MEMS悬臂梁传感器光学麦克 风，耦合激光干涉仪测量悬臂梁微量位移

• 根据应用需求配置光源，如灵敏度和气体成分种类

• 合适的光源包括可调谐半导体激光器(TDL)，量子级，联激光器(QCL),外腔式量子级联激光器  (EC-QCL),带间级联激光器，        (ICL),光学参量振荡器 (OPO)，带滤光片的宽带红外光源(NDIR)

• 气室恒定温度50℃

CF₄气体分析仪GASERA ONE-通用

• 19”3 U工业机箱，适用于全部台式或机架固定安装

• 尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D(19.1 In W x 5.5 in H x 17.3 in D)

• 重量：约13kg

        内置7”前置显示器的嵌入式计算机

        数据存储容量足够至少1年的连续监测

• 总采气量：10～30ml

        后面板有四路气体接口，两路为采样接口，配有粉尘颗粒物过滤器

• 供电：

• 输入电压：100～240VAC，50～60 Hz

• 输入功率：100～200 W（根据具体要求而定）

• 通讯接口：Ethernet、USB

  GASERA ONE可以通过智能手机，平板电脑,笔记本 电脑或另一个GASERA ONE来操作

CF₄气体分析仪GASERA ONE-环境

• 工作条件:

        温度范围：0℃～ + 40℃

        湿度：低于90%RH,无凝露

        压力范围：大气压

        防护等级：IP20(IEC 529)

• 储存条件：

        温度范围：-20℃～ + 60℃

• 采样条件：

        温度：0～ + 49℃

        湿度：无凝露

        气体流量：约1L/min

        压力：930mbar～1100mbar

        微粒< 1μm 

CF₄气体分析仪GASERA ONE-检测参数

• 响应时间：根据通道积分时间(C.I.T.)和气体 置换周期，典型从5秒到几分钟

• 检测限：0.1ppb 

• 动态量程：典型5级(100,000倍检测限)

• 重复性：小于1%的测量值，在工作条件标准浓 度下

• 准确度：取决于校准浓度标准气体的精度，典型2～5 %

• 温度稳定性：在温度工作范围内无影响

• 压力稳定性：在压力工作范围内无影响