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核心参数
仪器种类： 在线式
产地类别： 进口
仪器原理： 其他原理
响应时间： 10s
气体种类： 六氟化硫
概述
随着能量效率的提高，以及排气通风设施的物理限制变得更加明显，半导体设备的排气通风的优化变得越来越重要。设备的排气通风设计不合理，可能会造成操作人员的伤亡，引起设备乃至整个工厂的烧毁。
半导体行业需要测量机台通风效率，满足SEMI S6 Ventilation行业标准。
SEMI S6 Ventilation是使用示踪气体测定逸散性排放的试验方法，考量含 HPM或易燃易爆气体的半导体装备通风效率。
SF6作为示踪气体模拟泄漏气体，因此，对SF6检测仪的检测精度要求极高。
特性
光声光谱法原理，悬臂梁专利探测技术
可同时测量SF6等多种示踪气体及VOC
检测限低，测量精度高(ppb)
测量响应快
多点采样器，可扩展12-64个采样点
无需预处理、无耗材、无载气
可定制释放装置和管路
应用
半导体制造设备通风性能检测（国际半导体协会SEMI S6标准）
SF6泄露检测
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企业名称
北京杜克泰克科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110108055585878W
成立日期
2012-10-22
注册资本
500万元
经营范围
技术开发、技术推广、技术转让、技术服务;计算机技术培训;通用设备修理;销售开发后的产品、仪器仪表、机械设备、计算机、软件及辅助设备、医疗器械I类、医疗器械II类、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品);仪器仪表制造(限分支机构经营);租赁机械设备(不含汽车租赁);货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售第三类医疗器械。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;销售第三类医疗器械以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)
杜克泰克
公司地址
北京市海淀区安宁庄东路8号330室
客服电话
公司名称： 杜克泰克
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