关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转3569
仪器信息网认证电话，请放心拨打
等离子辅助MOCVD技术
NMC-4000（M）PAMOCVD系统概述：NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制，完全的安全互锁。
目前，这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统，该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。
NMC-4000（M）PAMOCVD系统应用：Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
NMC-4000（M）PAMOCVD系统特点：
独立系统
14”不锈钢立方体腔体
1次在8”样品台上处理1个6”晶圆片或在12”样品台上处理5片4”片子
加热的气体管路
RF等离子源，自动调谐
淋浴头气体分布
1100°C的旋转样品台
N2冲洗
手动放置晶圆片
NMC-4000（M）PAMOCVD系统 Features：
Stand Alone System
14” Stainless Steel Cube Chamber
One 6” Wafer with 8” Platen or five 4” Wafers on 12” platen
Heated Gas Lines
RF Plasma Source with Auto Tuner
Shower Head Gas Distribution
1100 °C Platen, Rotating
N2 Flush
Manual wafer Loading and Unloading
那诺-马斯特其它行业专用NMC-4000 (M) 的工作原理介绍
其它行业专用NMC-4000 (M) 的使用方法?
那诺-马斯特NMC-4000 (M) 多少钱一台?
其它行业专用NMC-4000 (M) 可以检测什么？
其它行业专用NMC-4000 (M) 使用的注意事项？
那诺-马斯特NMC-4000 (M) 的说明书有吗？
那诺-马斯特其它行业专用NMC-4000 (M) 的操作规程有吗？
那诺-马斯特其它行业专用NMC-4000 (M) 报价含票含运吗？
那诺-马斯特NMC-4000 (M) 有现货吗？
企业名称
那诺-马斯特中国有限公司
企业信息已认证
企业类型
私营
信用代码
64640111
成立日期
2015-04-17
注册资本
10000港币
经营范围
致力于薄膜工艺应用，包括薄膜沉积、刻蚀、兆声无损清洗技术
那诺-马斯特中国有限公司
公司地址
上海市徐汇区虹梅南路126弄翡翠别墅23号
客服电话
公司名称： 那诺-马斯特中国有限公司
公司地址： 上海市徐汇区虹梅南路126弄翡翠别墅23号 联系人： 吴先生 邮编： 200237 联系电话： 400-860-5168转3569
仪器信息网APP
展位手机站