匀胶机，旋涂仪

        匀胶机，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，英文叫Spin Coater或者Spin Processor。总的来说，他们原理都是一样的，既在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

        匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺, 可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。匀胶机可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蚀中也被广泛使用。

        由我司提供的匀胶机,在高校、研究所及半导体产业享有很高的声誉,相信能满足您多种不同应用要求。

产地：韩国ECOPIA公司

型号：SP-6

技术规格：

1. 旋转衬底最大尺寸：四英寸、六英寸、八英寸、十二英寸等；

2. 按客户需求提供整体解决方案，可以旋涂最小3mm， 最大1000mm衬底；

3. 从手动到全自动溶质分配的选择范围宽大；

4. 无振动转速最高5000RPM；

5. 真空吸附，无污染；

6. 台式匀胶机,占用空间小；

7. 具备耐化学性的无缝聚丙烯外罩，并且匀胶机主机易清洗；

8. 聚四氟乙烯（PTFE）的匀胶机可用于强腐蚀性化学材料；

9. 液晶显示屏人机界面，甚至带着手套都可以方便使用；

10.可以准确重复运行程序的数字程序控制系统；

11. 高度灵活的多重可编程步骤组成复合程序；

12. BLDC马达，高稳定性，无热量散发(优于DC马达)；

应用范围：

可用于光刻胶(PR)，聚酰亚胺(Polyimide)，金属有机物(Metallo-organics)，搀杂剂(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多数的有机溶液、水溶液；