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核心参数
仪器种类： 普通真空快速退火炉
产地类别： 进口
样品尺寸： 300mm X 300mm
温度范围： 1000dC
最高升温速率： 80K/S
降温速率： 30K/S
退火温度准确性： 1K
退火温度均匀性： 1%
快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。
VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合大尺寸样品的热处理。
仪器特点：
- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空环境使用；
- 加热区域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等；
参考用户：
中科院上海技术物理所，中国电子科技集团41所；
用户单位
采购时间
采购数量
中科院苏州纳米所
2013/12/01
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尤尼坦退火炉VPO-300的工作原理介绍
退火炉VPO-300的使用方法?
尤尼坦VPO-300多少钱一台?
退火炉VPO-300可以检测什么？
退火炉VPO-300使用的注意事项？
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企业名称
载德半导体技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
无
成立日期
2018-09-20
注册资本
10000
经营范围
精密仪器代理销售服务
载德半导体技术有限公司联络中心(上海荣若科学技术中心)
公司地址
上海市松花江路251弄白玉兰环保广场7号
客服电话
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