系统参数:
◆原理非接触、三维白光扫描干涉仪
◆扫描装置: 长范围 Z 轴调节
◆物镜: 1X - 50X 放大:标准工作距离2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;长工作距离:1x, 2x, 5x, 10x,详见物镜参数表
◆视场: 跟所选物镜有关
◆光源: 长寿命白光 LED,计算机控制光强
◆物镜安装:直接螺纹安装(标配);单物镜楔形座安装(选配);手动或电控 4 位物镜塔台(选配)
◆辅助聚焦: 软件控制辅助聚焦
◆测量阵列: 1024×1024,512×512,256×256,1024×160
◆样件观察: Mx 软件集成实时观察
◆Z 轴: 100mm 行程,主机头具有两种可选安装高度,以优化工作距离
◆样品台控制: USB 控制器
◆安全性: 系统集成紧急制动功能
◆样品台: 手动,俯仰倾斜±4°,集成 T 型槽板利于固定附件(标配) 手动型:XY 平移 50 x 100 mm(-01,-11);电动型:
XY 平移 100 x 100 mm(-02,-12)
◆计算机: i5 级别 PC,23 寸显示器 1080p
◆软件: ZYGO Mx 软件,Windows7(64 位)
◆尺寸(HWD): 系统:156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主机:82x53x53cm
◆重量: ZeGage Plus主机:54Kg; 工作台:37Kg
性能:
◆纵向扫描范围:≤ 20 mm,(受限于物镜工作距离)
◆表面形貌重复性:<0.15nm
◆光学分辨率(横向):0.52um (50x 物镜)
◆空间采样: 0.17um(50x 物镜)
◆扫描速度: ≤ 73 um/秒
◆台阶高度重复性:≤0.3%@1σ
◆台阶精度: ≤ 3%
被测样品特性:
◆材料: 各种材料的表面:透明,不透明,镀膜,非镀膜,反射,弱反射
◆最大尺寸(HWD):87 x 100 x 100mm 标准主机头位置;147 x 100 x 100mm 主机头加高采用局部覆盖放置可以测试更大的样品
◆反射率:0.05%-100%
环境要求:
◆温度: 15-30℃ <1.0°C/15 分钟
◆湿度: 相对湿度 5%-95%,无凝结
◆隔振: 包含隔振,要求隔离 1-120Hz 振动
◆振动准则: VC-C 或有更好的推荐