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当前位置: 上海洛丰 > 轮廓仪 > 白光干涉仪ZeGageplus 光学轮廓仪

白光干涉仪ZeGageplus 光学轮廓仪

品牌: 翟柯
产地: 美国
型号: ZeGageplus
报价: ¥100万 - 200万
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核心参数

产品种类: 非接触式轮廓仪/粗糙度仪

产地类别: 进口

产品介绍

系统参数:

原理非接触、三维白光扫描干涉仪

扫描装置: 长范围 Z 轴调节

物镜: 1X - 50X 放大:标准工作距离2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;长工作距离:1x, 2x, 5x, 10x,详见物镜参数表
视场: 跟所选物镜有
光源: 长寿命白光 LED,计算机控制光强
物镜安装:直接螺纹安装(标配);单物镜楔形座安装(选配);手动或电控 4 位物镜塔台(选配)
辅助聚焦: 软件控制辅助聚焦
测量阵列: 1024×1024,512×512,256×256,1024×160
样件观察: Mx 软件集成实时观察
Z 轴: 100mm 行程,主机头具有两种可选安装高度,以优化工作距离
样品台控制: USB 控制器
安全性: 系统集成紧急制动功能
样品台: 手动,俯仰倾斜±4°,集成 T 型槽板利于固定附件(标配) 手动型:XY 平移 50 x 100 mm(-01,-11);电动型:
XY 平移 100 x 100 mm(-02,-12)
计算机: i5 级别 PC,23 寸显示器 1080p
软件: ZYGO Mx 软件,Windows7(64 位)
尺寸(HWD): 系统:156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主机:82x53x53cm
重量: ZeGage Plus主机:54Kg; 工作台:37Kg
性能:
纵向扫描范围:≤ 20 mm,(受限于物镜工作距离)
表面形貌重复性:<0.15nm
光学分辨率(横向):0.52um (50x 物镜)
空间采样: 0.17um(50x 物镜)
扫描速度: ≤ 73 um/秒
台阶高度重复性:≤0.3%@1σ
台阶精度: ≤ 3%
被测样品特性:
材料: 各种材料的表面:透明,不透明,镀膜,非镀膜,反射,弱反射
最大尺寸(HWD):87 x 100 x 100mm 标准主机头位置;147 x 100 x 100mm 主机头加高采用局部覆盖放置可以测试更大的样品
反射率:0.05%-100%
环境要求:
温度: 15-30℃  <1.0°C/15 分钟
湿度: 相对湿度 5%-95%,无凝结
隔振: 包含隔振,要求隔离 1-120Hz 振动
振动准则: VC-C 或有更好的推荐

售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 依合约
免费仪器保养: 依合约
保内维修承诺: 保修期内质量问题免费维修除人为操作不当及不可抗因素
报修承诺: 24H响应
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¥ 50万 - 100万

工商信息

企业名称

上海洛丰精密检测仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

310114002580242

成立日期

2013-08-08

注册资本

200

经营范围

精密检测仪器、办公用品、橡塑制品、金属材料、金属制品、电线电缆、机械设备、机电设备、环保设备、五金交电、仪器仪表、电子产品、电子元器件、通讯器材、五金工具、钢材、印刷材料(除危险化学品)、计算机、软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品)的销售,机械设备安装、维修(除特种设备)。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

联系方式
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