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核心参数
仪器种类： 原子力显微镜
产地类别： 进口
定位检测噪声： ≤0.05nm
样品尺寸： 50mm*50mm,最多厚20mm
样品台移动范围： 22mm*22mm
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特点：
◆先进的StepScan自动化扫描和更快的扫描激光校准技术
◆多样品模块
◆Park招牌技术便捷的针尖替换
◆大型真空腔300mm X 420mm X 320mm
◆提供较长观测距离的同轴光学设备
◆用于提高灵敏度的高真空SSRM
规格参数：
| 型号 | Park NX-Hivac | |
| 扫描仪 | XY扫描仪 | 50um*50um(可选100um*100um) |
| Z扫描仪 | 15um | |
| 形貌噪音 | <0.03nm(标准值0.02nm） | |
| 光学 | 物镜 | 10X 500万像素CCD |
| 电子 | ADC | 18个频道 4个高速ADC频道（50MSPS）24位ADC的X,Y和Z位置传感器 |
| DAC | 12个频道 2个高速DAC频道（50MSPS）20位DAC的X,Y和Z定位3个频道的集成锁定放大器 | |
| 样品台 | XY平台行程 | 22mm x 22mm |
| 样品尺寸 | 高达50mmX50mm最多厚20mm | |
| 软件 | SmartScan | Park原子力显微镜操作软件 |
| XEI | 原子显微镜数据分析软件 | |
| HIVAC Manager | 自动真空控制软件 | |
| 高真空 | 真空高 | 通常小于1 X 10-5托 |
| 抽气速率 | 5分钟之内可达到10-5托 | |
| 物理信息 | 真空室（内） | 300mm（长）X420mm（宽）X320mm（高） |
企业名称
上海洛丰精密检测仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310114002580242
成立日期
2013-08-08
注册资本
200
经营范围
精密检测仪器、办公用品、橡塑制品、金属材料、金属制品、电线电缆、机械设备、机电设备、环保设备、五金交电、仪器仪表、电子产品、电子元器件、通讯器材、五金工具、钢材、印刷材料(除危险化学品)、计算机、软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品)的销售,机械设备安装、维修(除特种设备)。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海洛丰精密检测仪器有限公司
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浦东新区外高桥保税区基隆路1号汤臣国际大厦
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