量块比较仪

型号       EMP20/25

应用            EMP20/25 用于0.5~100(500)mm量块的检定。

测量方式   直接测量

测量装置    电感式测头和高分辨率激光测头或增量式测头（直接测量范围 20/25mm）相结合，对量块进行对比及绝对测量。

软件            具有强大的测量及数据管理功能，高效、经济。

优点：

l  最大可能的节省了重新标定的费用：只需要8/10个参考标准，进行零位校准。

l  节省大约50%测量时间

l  单轴测量范围适合100~500mm的量块。

l  自动测量程序。

l  友好的测量软件，构架于WINDOWS 2000 操作系统。

l  检测时可选择国家标准及自定义检测标准。

概诉：

普通比较测量，在重新标定方面花费比较多，使用者必须拥有较多的检定标准量块。综上所述，这是在检定时间方面的一个极度的耗费，革新的技术，使用大范围的测头，使测量范围由±20μm到20/25mm,当测量分辨率达到0.01(0.001) μm，单程测量范围20/25mm是可以做到的。定义测量参考点，e.g 测量标准量块和设置被测量长度。对于设备的线性误差，系统误差，软件可对其进行自动补偿。

性能及参数：

增量式测头

直接测量范围： 25mm（1 in）

测量系统：使用heidenhain的DIADUR工艺光栅尺和零膨胀编码器

           a=(0±0.1)*10-6K-1

分辨率：0.01(0.001) μm

测量不确定度：（0.03+L/1000）μm

测力：1N

测头： 特殊球面 R=20

EMP 25

分辨率：0.01(0.001) μm

测量不确定度：（0.05+L/1000）μm

重复性：0.03μm

使用温度：20℃±0.5K

温度变动量：0.2K/h

激光测头：

直接测量范围：25mm（1 in）

测量系统：HE-NE激光真空波长自动补偿系统

波长：632.8nm

分辨率：0.01(0.001) μm

测量不确定度：（0.03+L/1000）μm

测力：1N

测头： 特殊球面 R=20

EMP20：

分辨率：0.01(0.001) μm

测量不确定度：（0.05+L/1000）μm

重复性：0.03μm

使用温度：20℃±0.5K

温度变动量：0.2K/h