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核心参数
曝光模式： 投影式
产地类别： 进口
分辨率： 100nm
光源： LED
光源波长： 365nm
光强均匀性： 95%
曝光面积： 100mm
自21世纪以来，由半导体微电子技术引发的微纳米加工时代依赖于微纳米尺度的功能结构与器件，实现功能结构微纳米化的基础是微纳米加工技术。
台式Maskaligner对准光刻机打破了市面上传统激光直写设备高昂价格壁垒，是现阶段市面上低价的高品质对准光刻机；无需预热长寿命冷LED光源，低散度和高均匀性，内置同轴全高清校准数字显微镜，高品质电子晶圆压力和间隙控制，基于测微计的XYR晶圆对准台，多个物镜头灵活切换使用。
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企业名称
上海硕赛国际贸易有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
913101153207402866
成立日期
2014-10-16
注册资本
人民币200.0000万元整
经营范围
从事货物及技术的进出口业务,机械设备、仪器仪表、计算机、软硬件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品).通讯器材及配件、机电设备、化工原料及产品(除危险化学品,监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、电子产品、日用百货的销售,商务信息咨询(除经纪).(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
溢鑫科创
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上海市沪青平公路2008号（紧靠明珠路）竞衡大业广场803室
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