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核心参数
产地类别： 进口
最小线宽： 0.3um
电子束直径： 0.3um
束流电压范围： 30kV
传统的光刻工艺中所使用的铬玻璃掩模板需要由专业供应商提供，但是在研发环境中，掩模板的设计通常需要经常改变。激光直写光刻技术通过以软件设计电子掩模板的方法，克服了这一问题。与通过物理掩模板进行光照的传统工艺不同，激光直写是通过电脑软件控制，在光刻胶上直接曝光绘出所要的图案，无需掩膜工序。
绝大多数利用电子束刻蚀制造的器件只有很小的一部分结构需要用到电子束刻蚀的高分辨率，而大部分曝光时间都浪费在了如电极连接等大面积结构的生成上。Microtech可以被用在混合模式刻蚀工艺上：只用费用昂贵、速度缓慢的电子束刻蚀加工细小的结构，用成本低廉的Microtech加工大面积部分。Microtech先进的对准机制可以使两部工序完美结合。因此Microtech也适用于已经拥有电子束刻蚀的实验环境。
Microtech是直写刻蚀领域畅销品牌，其创新技术和稳定系统源自美国麻省理工林肯国家实验室，LW405D系列转为科研实验室和小型超净室设计开发的多功能光刻系统，适用于快速微纳米加工和小规模生产，除了可达高分辨的线宽外，其稳定性和多功能性也得到业界的一致认可和好评。Microtech做为世界上很早研发激光光刻技术的供应商，打破了以往的激光直写设备高昂价格壁垒，使得研究人员可以理工与传统光刻机相当的成本完成更具灵活性的激光直写光刻工艺。
用户单位
采购时间
采购数量
曼彻斯特大学石墨烯研究中心
2014/06/17
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企业名称
上海硕赛国际贸易有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
913101153207402866
成立日期
2014-10-16
注册资本
人民币200.0000万元整
经营范围
从事货物及技术的进出口业务,机械设备、仪器仪表、计算机、软硬件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品).通讯器材及配件、机电设备、化工原料及产品(除危险化学品,监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、电子产品、日用百货的销售,商务信息咨询(除经纪).(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
溢鑫科创
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