原位加热/气氛/液态 光学薄膜表征系统

Basic系列光学薄膜测量表征系统是应用分光光谱反射原理精确测量光学或非光学薄膜膜厚以及光学常数测量，测量准确度达到纳米量级。并且可以使用在原位加热，气氛，液态环境下原位实时观测薄膜变化包括膜厚和其他光学性质。

具有实时多功能测量、测量快速、非接触非破坏、优秀的准确性和重复性、易于上手操作等特点，是目前市场上性价比最优应用最普及的的薄膜表征测量设备。

优势说明:

Basic 是整套模块化和功能可扩充的测量工具平台。Basic可根据客户需求进行定制，可以使用在多样化应用比如标准的光吸收/光透射和光反射测量，可控温度和可控环境（比如真空，充气）下的甚至液态环境下等的薄膜表征测量。

Basic系统是积累在经多年创新基础上集成了多模块设计研发的。每套Basic包含了四个模块（中央处理单元，Case Type，工作平台和工作区域配置，这样确定了展现出来的不同测量功能和模式）。系统也有可选的功能盖顶以及其他扩展附件。
 

比如Film/Cuvette Holder薄膜/透明容器样品托可以测试典型光吸收/光透射和化学质量分数（浓度）的测量，使用Reflection Holder光反射样品托可用于反射率（反射比）和薄膜的测量，使用Thermal （热）或Liquid（液体）套装可使用在可控温度和液体环境下的测量。

Baisic可使用基于Windows基础上研发设计的软件，进行测量数据收集，薄膜厚度-光学常数测算。软件包含了材料数据包，此数据包也很容易可被用户扩展。整套系统（硬件和软件）出厂就已经装备好以供方便使用：光源，内置集成光谱仪，分部光纤，加热/冷却模块，温度控制器，样品台，Window操作控制软件。设备只需有基本电脑操作基础就可以很容易上手，不需要更多更深的光学知识。唯一额外增加是拥有两个USB接口的电脑来运行XP或Vista, 7操作系统。

图左：Basic装备了Reflection Holder光反射样品托，Cover Top盖顶，Optical Bench Top光学平台，Thermal Kit加热套装，Gas Chamber可控气体样品室，用在可控温度可控环境下的测量。

图中上：用于监控生物反应应用的微流体单元

图中下：配置光学平台和薄膜/透明容器样品托的FR-Basic系统用于光吸收/光透射测量

图右：配置光反射样品托和液体套装用于液态环境下的测量

软件:

Basic系统可以处理薄膜数据包含了数量庞大的薄膜数据库和“双数据”实时同时测算比如两层薄膜膜厚的同时测量或薄膜膜厚和n&k值实时测算等。

Monitor (软件名)用来控制Basic系统和光谱测量过程。Monitor提供了一个独特多应用多功能能力，她能获得实时光吸收，光透射，光反射，光放射（辐照）和荧光光谱，以及使用Visual C++算法的非常快速计算和数据处理能力。

在光吸收/光透射配置中，所有典型参数比如A,T被测算。此外，其他非常规参数比如在其他测量中非常有用的信号整合也被测算。

此外，Monitor包含了白光反射光谱（White Light Reflectance Spectroscopy WLRS）算法用于独立的或多层的（基于透明或部分/完全反射基底）多达10层薄膜的精确测算薄膜厚度（小于10nm和大于100um厚度）和光学常数测量包含（n&k值）。