核心参数
仪器种类: 台式/桌面型
产地类别: 进口
SEM高速刻蚀子系统
XENOS刻写子系统是一种允许设计图案数据并产生用于带电粒子束(例如用于半导体光刻应用或聚焦离子束系统的电子束)转向的相应偏转信号的系统。可以连接到传统的扫描电子显微镜、FIB或双光设备上,升级系统,在半导体或其他材料上进行纳米光刻。
高速刻写
可以实现高达40MHz的像素速率。由于采用了智能写入算法,可以考虑当前SEM的有限偏转带宽。优化的数据传输和稳定时间计算与高写入速度相匹配,以提供快速写入的所有优点。
智能且通用的格式
使用三阶多项式扫描逻辑,可以仅基于硬件以Max速度生成和写入这些多项式。因此,圆形、环形或椭球体可以由同心的单像素环书写,通常在曝光过程中不需要消隐。并且,可以用Min的数据开销和传输时间来实现理想的写入速度和近似质量。此外,与结构的多边形部分的光栅扫描相比,偏转信号的正弦形状消耗的偏转带宽要小得多。同时,写入算法对称地使用X轴和Y轴的带宽。
高灵活性
模块化系统可以进行配置,以完全满足您的需求。逻辑配置和DSP内核可以在几分钟内更新,以提供新功能。
配置高,应用界面友好
完整的偏转信号生成是在每轴16/32位的可编程逻辑器件中实现的。特别是场校正不使用带宽限制的乘法模拟DAC,而是完全数字构建的,工作到Max写入速度,而在产生的偏转信号中没有任何失真。
控制软件ECP基于Linux或Windows使用,CAD部分可在工作组中自由使用。
SEM刻蚀子系统应用图例:
** 进一步配置要求,详情可咨询上海昊量光电设备有限公司。
更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电
关于昊量光电:
上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。
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企业名称
上海昊量光电设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
913101176727298067
成立日期
2008-04-03
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
许可项目:货物进出口:技术进出口.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:光电设备及元器件、光纤光缆、光电传感器、仪器设备、电子产品、通讯器材研发、生产、销售;工业自动化设备及配件、机械设育、汽车零配件、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑装饰材料、服装、纺织品及眼材料、计算机软硬件及辅助设备销售;软件开发;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广.(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
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