台式电镜在太阳能电池中的应用

太阳能电池是将太阳能直接转化为直流电能或交流电能的光伏电池，其原理主要是利用光生伏特效应（光伏效应）。在具有 PN 节的太阳能电池中，电子受光照激发后形成电空穴对，在内建电场作用下，电子在返回基态前会与空穴分离，进入导带，在 PN 结的两端形成电势差，这种现场称为光伏效应。

在各种可再生能源中，太阳能以其清洁、安全、取之不尽、用之不竭等显著优势，已成为发展最快的可再生能源。且随着碳达峰和碳中和的提出，中央到地方相继出台多项有关光伏发电相关政策。在光伏市场方面，2021 年全国新增光伏装机容量 54.88GW，同比上升 13.9%。累计并网装机容量达到 308GW，新增和累计装机容量均为全球第一。全年光伏发电量为 3259 亿千瓦时，同比增长 25.1%，约占全国全年总发电量的 4.0%。

随着光伏市场的发展，越来越多的光伏企业重视产品研发和质量。下面我们简单介绍下台式扫描电镜在光伏电池中的相关应用。

现在使用量最大的太阳能电能是晶体硅太阳能电池，主要包括多晶硅和单晶硅两种太阳能电池，占比全球的装机量的 90% 以上。制造硅基太阳能电池，往往采用 P 型硅片，其制备步骤如下：将切割和抛光后的硅片清洗，对硅表面腐蚀和制备绒面，扩散 P 原子制备 PN 节，化学腐蚀并去除边缘，在受光面制备减反射膜，利用丝网印刷和烧结工艺制备正面和背面电极，最后进行电池检测和分类。具体流程如下图。

干净未处理的硅表面对太阳光的反射率大于 35%，为了减少对光的反射，需要在硅片表面进行处理结构化处理。通常在硅片迎光面，利用化学腐蚀剂，形成粗糙绒面，从而使光反射率减低到 10% 以下，从而提高电池转化效率。如下图所示，分别为多晶硅和单晶硅的绒面结构。其中多晶硅绒面表面呈蜂窝状结构，单晶硅绒面呈金字塔结构。

为了减少硅片表面入射光反射率，除了硅片表面绒面化，还有一个有效方法是在电池受光面制备减反射膜。在绒面上在沉积一层减反射膜，可使硅表面光反射率降低 5% 下。目前在生产中普遍使用 SiNx 作为减反射膜，主要是因为 SiNx 膜不仅具有良好的减反射效果，还能起到很好的表面钝化作用。如下图所示，单晶硅太阳能电池绒面的减反射膜。

光伏电池生成的电流需要通过其表面的电极进行收集和输送。太阳能电池制造过程中，需要在硅片上印刷金属浆料，用来制备电池接触电极。烧结后，在电池表面形成正面电极和背面电极，从而起到收集和传输电流的作用。

光伏电极浆料通常由银、铝等导电金属粉体组成。主要是因为这两种金属可以与硅形成欧姆接触，接触电阻小，接触牢固且化学稳定。

电镜除了对太阳能电池形貌分析，也可以利用能谱对电池进行元素分析。

能谱 Mapping 对银电极与硅片截面进行分析

颗粒系统软件界面

针对电极粉末颗粒，可以利用颗粒软件对样品颗粒大小进行统计分析。

统计柱状图

3D 粗糙度重构软件

针对电池表面，可以利用 3D 粗糙度重构，测试样品表面，并测试粗糙度。