2020/03/16 15:56
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方案摘要:
产品配置单:
飞纳台式扫描电子显微镜 Phenom ProX
型号: 电镜能谱一体机 Phenom ProX
产地: 荷兰
品牌: Phenom
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方案详情:
扫描电子显微镜原理上是利用聚焦电子束在测试样品上表面扫描,激发出各种物理信息。电子束需要利用电磁透镜进行细化和聚焦,若样品本身具有明显磁性会干扰电磁透镜的正常工作,导致无法使样品拍摄清楚;做能谱分析时,容易造成打偏等现象。同时,如果样品没有粘贴牢固,可能导致样品被吸附在极靴上,导致电镜故障。因此,有些用户对飞纳电镜能否测试磁性样品表示担忧。
接下来我们聊一聊电镜电磁透镜的设计。距离样品最近的一个电磁透镜为物镜,最容易受到样品的影响,也最容易影响到样品,因此物镜的设计对磁性样品观察十分重要。
目前,常见物镜设计有三种:外透镜模式、内透镜模式、半内透镜模式。飞纳电镜的物镜采用外透镜模式,将物镜产生的磁场尽可能与样品隔离,将磁性样品对电镜的影响降到最低。如下图所示,极靴将电磁透镜产生的磁场包住,不让其泄露到样品区。正如等效磁场所示,样品在等效磁场外。
外透镜模式示意图
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