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扫描电镜低加速电压成像

2019/11/07 15:22

阅读:120

分享:
应用领域:
建材/家具
发布时间:
2019/11/07
检测样品:
建筑陶瓷
检测项目:
烧结缺陷
浏览次数:
120
下载次数:
参考标准:
扫描电镜,台式电镜,台式扫描电镜,桌面扫描电镜,场发射电镜

方案摘要:

通常来说,操作人员更愿意使用更高的加速电压去成像,当加速电压较大时,信噪比更好,分辨率更高,更容易得到“清晰”的图像。但低加速电压却是当今扫描电镜的发展趋势,这是什么原因呢?今天,这篇文章将围绕“低加速电压成像”展开讨论。 电子束与样品相互作用将会激发出多种电子信号,包括背散射电子(BSE)、二次电子(SE)等。二次电子(SE)主要表征样品的表面形貌信息,激发深度一般低于 10nm,主要表征样品的表面形貌信息。

产品配置单:

分析仪器

飞纳台式扫描电子显微镜 Phenom ProX

型号: 电镜能谱一体机 Phenom ProX

产地: 荷兰

品牌: Phenom

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方案详情:

扫描电镜的加速电压与束流强度对成像有着决定性的影响。


通常来说,操作人员更愿意使用更高的加速电压去成像,当加速电压较大时,信噪比更好,分辨率更高,更容易得到“清晰”的图像。但低加速电压却是当今扫描电镜的发展趋势,这是什么原因呢?今天,这篇文章将围绕“低加速电压成像”展开讨论。


电子束与样品相互作用将会激发出多种电子信号,包括背散射电子(BSE)、二次电子(SE)等。二次电子(SE)主要表征样品的表面形貌信息,激发深度一般低于 10nm,主要表征样品的表面形貌信息。


Picture1.jpg


当使用较高加速电压去观测样品,二次电子来自样品表面 5~10nm 范围,最表层的形貌被削弱,甚至掩盖;而用低加速电压观测样品时,由于入射电子束与样品的相互作用小,信号更多来源于材料的表面,加速电压越低,观测的形貌效果越接近表层,且低加速电压对样品的损伤也较小。

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