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扫描电镜特殊类型样品制备系列 03 —— 不导电材料
2019/01/15 15:24
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方案摘要：
方案详情：
对于不导电材料，在入射电子束的作用下，其表面会积累电荷，这些电荷会对扫描电镜背散射电子成像和二次电子成像产生不良影响；同时对入射电子束产生“减速”作用，进而减小电子束的着陆电压，对能谱的准确性产生极大负面影响。
针对此情况，飞纳台式扫描电镜提供低真空模式，以降低充电效应对测试结果产生的影响。
方糖扫描电镜图像样品产生充电效应 方糖扫描电镜图像低真空下无充电效应
样品在充电状态下，充电位置带负电，将对入射电子束产生强烈的排斥。如上图所示，排斥电子被探测器收集，显示在图像中往往为异常亮区或亮环。充电严重时，白色区域拓展至整个视野，无法正常成像。
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