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背散射电子图像：如何提高其质量
2018/11/05 14:41
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方案摘要：
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背散射电子（Backscattered electron -BSE）图像会体现有关样品材料衬度的信息。利用背散射电子探测器（BSD）获取样品图像的质量会受到很多因素的影响，如样品的电导率，形貌，样品成分，BSD探测器类型以及电子器件等。
在本篇博客中，将使用同一套成像系统、完全相同的探测器对同一个样品进行控制变量实验，分析影响背散射电子图像质量的因素，这些因素包括采样帧数、束流强度，以及工作距离、样品仓真空度等。
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