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扫描电镜分析导致样品破坏的原因及缓解办法
2018/08/02 17:23
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方案摘要：
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当使用扫描电镜（SEM）观察样品时，随着时间增加，电子束可以改变或破坏样品。样品破坏是一种不利的影响，因为它可能会改变或甚至毁坏想要观察的细节，从而改变电镜检测结果和结论。在这篇博客中，将解释导致样品破坏的原因，以及如何缓解这一过程。
扫描电镜（SEM）中，使用聚焦电子束扫描样品的表面获取信号后续处理来产生图像。电子由电子枪产生并通过高压加速获得更高能量，通过电磁透镜使其汇聚。加速电压一般在1kV至30kV范围内，最终作用于样品的扫描电镜束流在纳安数量级。
经过高压加速的电子与样品表面相互作用，对于不导电样品，这种相互作用可能损伤样品和破坏样品。该破坏过程可以通过样品表面产生的裂纹的形式看出，或者看起来材料像是熔化或沸腾的。材料破坏的速度随加速电压、观察束流和放大倍数的变化而变化。
图1：不同类型非导电样品的破坏
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