2017/12/11 16:21
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扫描电镜(SEM)用电子束扫描样品表面,收集携带电子束与样品相互作用信息的反射电子。如果样品仓内残留有空气,空气原子与电子束相互作用,部分偏转电子,并在图像上增加噪声。
这就是扫描电镜成像前必须达到一定真空度的原因。但是,虽然高的真空对于准确的分析来说是至关重要的,但它也会对某些类型的材料成像产生负面影响,例如含有水分的样品。阅读这篇博客,了解如何在扫描电镜的真空环境中观察对真空敏感的样品,并保持样品结构完整。
SEM中的真空度
首先,我们来谈谈扫描电镜(SEM)中的真空度。真空度(或压力值)可由操作者控制。对于台式扫描电镜,真空度在1 - 10帕斯卡之间。用于比较的是:大气压是100000帕斯卡。
当压力降到大气压值以下时,所有液体都会发生相变。因此所有扫描电镜(SEM)的内部必须采用不受高真空度影响的特殊材料。
有些样品会受到影响,并且它们的行为也会有所不同:最敏感的是含水样品。
有内部孔隙的样品,或者是由含水材料制成的样品,都可能会受到影响,因为它们会在成像过程中释放出气体。
任何从样品中释放出的气体都是成像工具的风险,因为它可能会污染镜筒或探测器,损害仪器的功能,或影响图像质量。出于这个原因,飞纳台式扫描电镜(Phenom Desktop SEM)通常配备一个保护程序,当检测到突然或意外增加的压力水平时,会弹出样品。
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