飞纳台式扫描电镜在纳米材料中的应用

扫描电子显微镜在纳米材料研究中的应用，自20世纪80年代人们开始研究纳米材料以来，由于其颗粒尺寸的细微（10—100 nm)，使其具有许多其它材料所不具备的优异性能，如特有的表面效应、体积效应、量子尺寸效应和宏观量子隧道效应等，现已成为材料学研究中的热点。纳米材料独特的物理化学性质主要源于它的超微尺寸及超微结构。因此对纳米材料表面形态的观察成为对其研究和应用的基础。目前该领域的检测手段和表征方法可以使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜（TEM）、扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)等技术。扫描电子显微镜(SEM)在纳米级别材料的形貌观察和尺寸检测方面依靠其高分辨率．良好的景深简易的操作等优势被大量采用。扫描电镜（SEM）是—个复杂的系统，浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术等，其成像质量的好坏受多种因素的影响，包括样品的前期处理、扫描电镜（SEM）自身能的制约等。在此就如何利用扫描电镜（SEM）观测高清晰度的纳米薄膜材料进行了详细的阐述，包括对荷电效应、像散对纳米薄膜材料成像的影响和解决方法以及加速电压、物镜光栏、工作距离等扫描电镜（SEM）测试条件之间的相互作用关系及对纳米薄膜材料表面形态图像清晰度的影响，为提高扫描电镜（SEM）在纳米材料表面形态的成像质量起到抛砖引玉的作用。

因此扫描电镜在纳米材料等应用领域也越来越普及，但是因为传统的扫描电镜比较笨重，操作相对复杂，维护费用较高等缺点一直受人诟病，因此近几年兴起的台式扫描电镜以快速、方便、轻巧及维护简单等优势迅速发展起来，已经在各地高校中起到非常关键的作用，甚至在一般的企业中台式扫描电镜的应用也慢慢普及开来。

以下简介台式扫描电镜在纳米材料中不同的应用：

1、在飞纳台式扫描电镜下观测SiO2小球：

飞纳台式电镜致力于最高分辨的台式扫描电镜，放大倍率也是台式电镜最高的，高达13万倍，分辨率达到10 nm，此外飞纳电镜更关注电镜的稳定性，设计为大于15年的使用寿命，以下即为飞纳台式扫描电镜在5万倍和10万倍的表现。

图1、2飞纳台式电镜拍摄50000/100000倍SiO2颗粒

2、通过飞纳台式扫描电镜最新的二次电子探测器测试，可达到最佳的分辨率，7nm，以下即为通过飞纳电镜二次电子探测器测试的银纳米线。

图3、4 通过飞纳电镜拍摄50000/100000银纳米线

3、飞纳台式扫描电镜测试纳米材料，可以清晰的观测到样品表面的细节。

图5、6通过飞纳电镜拍摄20000/50000纳米颗粒