东京精密切割机AD3000T-HC PLUS

东京精密切割机AD3000T-HC PLUS全自动切割机 快速 , 精准 , 创新

东京精密自1970年开发了第一台晶圆切割机A-WD-75A以来,为高精 度芯片分割和半导体产业开始时期的高效率化做出了很大的贡献. 继承开发当初的技术的基础上,融合了最新的Fluidics? Mechatronics?Energy Conservation技术的AD3000T-HC PLUS, 正引领新的切割技术.

特　征

WH/FH 自动切换 晶圆搬送和框架搬送可自动切换 , 减少了切换中的风险 , 使得机器停机 时间大大减少? 标准搭载 FOUP opener 自动化操作从而减少了晶圆破损的风险 , 封闭式的 FOUP 降低 lot 处理中的环境污染的风险 标准搭载非接触式工件厚度感应器 搭载 air micro 感应器 , 可测定工件等的厚度 选配单元的小型化 , 内部设计的优化 , 使得主要选配单元内 藏成为可能. 标准搭载 6 万转的主轴 (8 万转选配可对应) 加工效率向上 ① X 轴速度 1000 mm/s, Y 轴速度 300 mm/s, Z 轴速度 80 mm/s ②搭载 2 个光学式测高单元 ③世界最小刀片间距 17 英寸触摸屏 + 新 GUI 搭载了 GUI( 用户操作界面) 易于观察的画面和大型的按钮 , 在增强操 作性的同时 , 采用了对话式的容易理解的输入方式 搭载了无需复杂的参数设定的刀痕检查功能 (AI 刀痕检查功能) 硬盘内可存储和管理 10000个以上 的加工参数 标准搭载 USB 接口 (可以使用 USB 等外部存储设备) 维护性向上 大型的前部维护门改善了维护性 切割台盘面内补正功能 (Active-Z) 对切割台盘面内的不平整进行补正, 实现高精度的切割高度控制