Aspec质谱仪“进军”半导体行业

作为支撑经济社会发展和保障国家信息安全的战略性、基础性和先导性产业，发展半导体产业已经成为国家战略。

而在半导体生产过程中，需要经历数十甚至上百道工序，任何微小的沾污都有可能导致电路失效。因此，从半导体工厂的建造调试到正式运行，都必须经过严苛的检测，方能保证后续精密生产。

你以为这些环节的检测一定相当复杂繁琐？

近期，德国某半导体工厂就身体力行的证明，只需要一台集成了新型的四极杆和抽真空技术的Aspec质谱仪，立刻事半功倍！

供气管道、阀门和仪表调试

一个全新的半导体工厂，往往需要建造数百公里长的管道工程，其中包括数以千计的接头和弯管，以及阀门、仪表等。这些管道工程必须经过非常严格的微粒、泄漏、氧气、水和其他污染物测试，方能为半导体生产安全供气。

首先，由于管道结构错综复杂，常常需要穿过工厂的许多楼层位置，因此必须识别和检查管道出入口，保证管道方向及连接无误。这就需要将氮气、氩气或氦气等气体通过管道进行识别，使用我们的质谱仪则能非常快速的进行检测。

同时，为了保证安全，管道系统必须能够承压且无任何泄露。不论是通过氮气、氦气对每根管道进行长达10小时的压力试验，还是测试氮、氦、氩是否发生泄露，Aspec质谱仪都可以精准采样。

此外，半导体工厂的管道工程必须达到清洁度要求。例如需要反复检测小于0.1微米的粒子、低于10ppm的氧气、小于1ppm的水蒸气等，许多半导体工厂只能使用不同的仪器来进行不同的项目检测，相当耗时耗力，而Aspec质谱仪一台设备即可完成所有气体监测，大幅提高工作效率。

半导体工艺气体泄漏监测

在半导体工厂的生产过程中，Aspec质谱仪同样能够发挥极大的作用。

如果阀门、接头、仪表等发生故障，半导体工艺气体无法顺利排出，就会严重影响工厂的正常运行。经过充分的良好验证，Aspec质谱仪能在线监测这些气体是否发生泄露，帮助工作人员及时采取措施，确保气体到达正确位置。

除此之外，许多半导体生产需要在高度干净的洁净室中进行，应用我们的质谱仪也可以实现对洁净室中酸类、苯类、酮类等组分进行24小时不间断实时监控，是半导体生产工艺中不可或缺的质量控制设备。

精尖产业的发展，更需要高精技术的支持。经过10多年的不断创新，Aspec质谱仪已经在德国半导体行业大展身手，也必将成为助推我国半导体发展的有力伙伴！