2017日立高新电镜新品发布会：SEM/TEM/电镜前处理三款产品齐发

　　仪器信息网讯 2017年6月27日下午，天美(中国)科学技术有限公司携手日立高新技术公司在北京凯迪克格兰云天大酒店召开日立电镜新品发布会。近八十名来自科研院所、企事业单位的日立高新用户、专家代表参加了此次会议。

发布会现场

日立高新透射资深应用专家松本弘昭(右)致辞，席小宁(左)翻译

　　松本弘昭在致辞中表示了对与会人员的谢意，并宣布在中国首次发布日立冷场发射扫描电镜Regulus系列、日立120KV透射电镜Ruli TEM HT7800系列、日立扫描电镜制样设备离子研磨仪ArBlade 5000等三款明星产品。

天美(中国)科学仪器有限公司副总裁赵薇致辞

　　赵薇向大家介绍了天美(中国)科学技术有限公司的全球发展历程：2004年走进亚太、2009年走进欧洲、2014年走进美国等，最终“一个天美”整合，实现全球化战略，并将“成为享誉世界的专业科学仪器公司”作为企业的愿景与使命。

日立冷场发射扫描电镜Regulus系列

　　日立电镜市场部全球技术支持立花繁明首先介绍了日立高新场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)产品的发展历程，从最初的TM3030Plus到目前全球分辨率最高水平的SU9000等。“Regulus系列”是日立高新FE-SEM的全新品牌，包括作为SU8010的后续机型开发的“Regulus8100”以及SU8200系列的升级“Regulus8220”“Regulus8230”“Regulus8240”，共4个机型，均实现了分辨率和操作性的强化。

Regulus 8100

　　日立高新FE-SEM 产品的闻名离不开其两项独到的技术，即冷场发射电子枪技术以及电子光路的EXB技术。“Regulus系列”在这两项独有技术的基础上进行了进一步最优化处理，使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20%。“Regulus8220/8230/8240”达到 0.9nm，“Regulus8100”为1.1 nm的分辨率。另外，最适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大，并获得高质量的图片。最大放大倍率也由之前的100万倍提高到了 200万倍。

立花繁明介绍Regulus系列新品

　　除此之外，分辨率的提升往往带来用户操作难度的加大，为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能，且更易操作，Regulus系列对用户辅助工能进行了强化，如信号检测系统的操作辅助功能，维护辅助功能等。

日立120KV透射电镜Ruli TEM HT7800系列

　　据日立电镜市场部全球技术支持许斐麻美日介绍，新一代全数字化120kV透射电镜Ruli TEM HT7800系列目前包括HT7800和HT7830两种型号，此系列产品操作的一体化和自动化程度都有明显提高。随着时代的发展和科技的进步，全数字化必将是透射电镜的发展趋势。HT7800系列数字化的优势具体表现在以下几个方面：

　　一、HT7800系列采用日立最新设计的第二代双隙物镜，很好地继承了日立120kV-TEM的基本理念，即兼顾低倍率与宽视野观察、高衬度与高分辨率观察可在同一仪器上一键切换等。对比于其他厂家的独立模式设计，HT7800可在同一台透射电镜上实现两台电镜的功能。集高衬度和高分辨两种模式于一体，可同时满足软材料/纳米材料类和生命科学类客户对电镜的需求。

许斐麻美介绍日立高新120kv透射电镜HT7800系列新品

　　二、使用高速高灵敏度的CMOS荧光屏相机取代了传统的荧光屏观察窗，将 TEM 操作统一于显示器上，实现透射电镜操作的全数字化，可以在明亮的室内进行观察。 采用荧光屏相机实现透射电镜的全数字化，具有保护操作者、保护样品、显著改善操作环境、高速CMOS荧光屏相机等优点。

　　三、标准搭载涡轮分子泵(TMP)，实现绿色真空。HT7800所使用的真空泵包括机械泵和涡轮分子泵，均为标准配置。

　　四、标配三维重构功能及±70°倾转样品台。一般情况下透射电子显微镜只能提供样品的平面投影图像，而无法直接获知其三维立体信息。在标准配置下，HT7800就可以通过±70°的连续倾转、拍摄及电脑重构，得到样品的立体形貌信息。

　　五、强大的自动拼图功能。这是数字化带来的另一革命性优势。HT7800可通过样品台移动和电子束移动两种方式实现全倍率下的自动拼图，可得到最大分辨率16倍于主相机的无缝拼接大视野样品图片。图片存储时，自动保存样品位置与样品杆旋转信息，在自动拼接过程中实现高精度对中。举例来说，一次3×3的拼接，全过程可在4min左右完成。

　　六、方便而精准的自动连续拍摄功能等。

日立扫描电镜制样设备离子研磨仪ArBlade 5000

　　SEM的高性能、多功能化方面的进步伴随着SEM用途的扩大，为了实现评价的目的，样品的前处理难度也随之提高。相比其他前处理方法，离子研磨法具有操作简单、无应力加工、软材料可应对等特点。日立电镜应用工程师席小宁首先介绍了日立离子研磨仪由平面研磨仪到截面研磨仪，再到平面截面研磨一体机的变迁过程。并表示，此次推出的ArBlade 5000是IM4000/IM4000PLUS的高端版，其特点除了之前产品兼具的多目的前处理外，还具有高效率的样品截面制样、样品广域截面制样、触摸操作等特点。

席小宁介绍ArBlade 5000

　　多目的前处理是指平面研磨和截面研磨时分开的，可以适用于多种用途。高效率样品截面制样主要体现在通过新开发的氩离子枪(PLUS II离子枪)，实现截面加工速率1mm/hr!样品广域截面制样是基于IM4000/IM4000PLUS截面研磨的加工宽度1mm略显不足的问题，ArBlade 5000样品台滑动幅度可设置，并可进行顺滑调整，截面加工宽度最大可达8mm。触摸操作则增加了定时功能、2end研磨功能、离子束间歇式加工等人性化功能。

　　北京电镜学会理事长孙异临(左)，北京师范大学分析测试平台的李永良(右)

　　会后交流中北京电镜学会理事长孙异临表示，自己使用日立电镜产品已经有很多年的时间，总体感觉就是稳定性好、性能好、售后服务好的“三好设备”。同时，日立冷场电镜在北京第一个用户北京师范大学分析测试平台的李永良教授也表示，使用那台设备已经整整13年，每年平均机时在3000小时以上，最多的感觉就是“皮实”，应用也十分广泛，收到过来自全国各地各种各样的样品，包括环境、材料、物理等多个领域。

　　会后合影留念