超高分辨扫描电镜SU9000减速功能及其应用

日立科学仪器

2016/11/18 13:10

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日立SU9000超高分辨冷场发射扫描电镜，达到扫描电镜世界最高二次电子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改进的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能明显提升，而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作，可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。

特点：

1.新型电子光学系统设计达到扫描电镜世界最高分辨率：二次电子0.4nm（30KV），STEM 0.34nm（30KV）。

2.Hitachi设计的E×B系统，可以自由控制SE和BSE检测信号。
3.全新真空技术设计使得SU9000冷场发射电子束具有超稳定和高亮度特点。
4.全新物镜设计显著提高低加速电压条件下的图像分辨率。
5.STEM的明场像能够调整信号检测角度，明场像、暗场像和二次电子图像可以同时显示并拍摄照片。
6.与FIB兼容的侧插样品杆提高更换样品效率和高倍率图像观察效率。

其减速功能特点如下：

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该产品更多信息请关注: http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C138508.htm

关于日立高新技术公司:
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