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日立高新SU8220观察玻璃基板上的ITO薄膜
众所周知的透明导电膜ITO(Indium Tin Oxide)主要运用于液晶显示屏和太阳能电池等领域。由于显示屏等商品的电气特性和ITO表面的平整度相关，因此通过将ITO的结晶颗粒微小化，使表面平整度得到提高。
上面的两张图是使用Upper探头和Top探头对ITO表面同时进行观察时的效果。在左图的LABSE像(Upper探头)中，可以观察到表面的细微凹凸，而且通道效应也清晰可见。另外，在右图的HABSE像(Top探头)中，凹凸信息有所减弱，相反通道效应被强调有加。
SU8220利用高超的工艺，按照背散射电子的散乱角度分别以LABSE和HABSE接收成像，可使客户根据不同的观察目的进行选择。
本应用使用的仪器为日立高新场发射扫描电子显微镜SU8220，关于此仪器请参考：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C182052.htm
关于日立高新技术公司:
日立高新技术公司是一家全球雇员超过10,000人，有百余处经营网点的跨国公司。企业发展目标是“成为独步全球的高新技术和解决方案提供商”，即兼有掌握最先进技术水准的开发、设计、制造能力和满足企业不同需求的解决方案提供商身份的综合性高新技术公司。日立高新技术公司的生命科学系统本部，通过提供高端的科学仪器，提高了分析技术和工作效率，有力推进了生命科学领域的研究开发。我们衷心地希望通过所有的努力，为实现人类光明的未来贡献力量。
更多信息请关注日立高新技术公司网站：http://www.hitachi-hitec.cn/
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