核心参数
仪器种类: 落地式/传统大型
电子枪种类: 热场发射
产地类别: 进口
二次电子图象分辨率: 1.2nm@30kV,3.0nm@1kV,2.0nm@1kV(减速)
放大倍数: 18~1,500,000
加速电压: 0.5~30kV
背散射电子图像分辨率: 3.0nm@15KV
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2017/04/05
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