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核心参数
电子枪种类： 钨灯丝
二次电子图象分辨率： 3.0nm@30kV
放大倍数： 5~300,000
加速电压： 0.3~30kV
日立高新扫描电子显微镜SU1510 结构紧凑，性能高。
与现有型号相比，减少了20%的体积。
标配可变压力模式。
保证30 kV电压时，二次电子3.0 nm的分辨率，
背散射电子4.0 nm（6帕）可满足直径153 mm，高60 mm的样品
采用TMP真空系统，节省占地面积和电源功耗。
特点
*1：X射线能谱分析仪(可选件)
*2：环境二次电子检测器(可选件)
*：请自备桌子
*：上述图像仅为模拟图像，非实际图像标准配备涡轮分子泵(TMP)。因为无油，最大限度的地减少了样品污染。和传统的油扩散泵扫描电子显微镜不同，此款产品不需较大的加热功率和水冷循环装置，从而使得它成为一款有利于节能，生态环保的扫描电子显微镜。
为了帮助没有经验的用户，SU1510通过屏幕上的操作指南来引导用户逐步完成成像过程 - 从选择真空模式到捕捉图像。这项独特的功能，使所有不同经验水平的用户都可以快速获得高质量的图像。
SU1510所采用的先进技术能够保证二次电子分辨率达到3.0 nm(高真空模式)，保证背散射电子分辨率达到4.0 nm(可变压力模式)。
为了便于对非导电样品快速观察，SU1510采用了可变压力模式来消除负电荷，并为成像和EDX分析提供了最佳条件。*1
样品室和样品台的独特设计使其可以装载直径达153 mm的样品。分析时工作距离为15 mm，样品最大高度60 mm，可同步进行EDX分析和成像。
如用户需要可变压力模式下的二次电子像，可选择ESED-II*2配件。因为该检测器已集成到SU1510的图形用户界面里，并完全采用了全自动化软件驱动模式，以便操作者随时使用。
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