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以TDS分析PEALD制程中的超威量水残留量以实现高质量薄膜
2023/11/10 13:33
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方案摘要：
产品配置单：
JEOL JMS-T2000GC 高解析气相层析飞行时间质谱仪
型号： JMS-T2000GC AccuTOF GC-Alpha
产地： 日本
品牌： 日本电子
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JEOL TG-MS 热重质谱仪
型号： JMS-Q1600 TG-GCMS
产地： 日本
品牌： 日本电子
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JEOL JMS-S3000 MALDI-TOF 雷射辅助基质离子螺旋飞行质谱仪
型号： JMS-S3000
产地： 日本
品牌： 日本电子
¥500万 - 600万
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JEOL DART-TOF 大气游离高解析质谱仪
型号： AccuTOF™ DART® 4G (DART-TOF)
产地： 日本
品牌： 日本电子
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方案详情：
薄膜结构
水分子的残留量可以影响薄膜的结构和成分。如果水的残留量较高，它可能与前驱体气体产生反应，导致薄膜中含有氧或氢等杂质。这可能会改变薄膜的结晶性、密度和化学成分。
薄膜质量
过多的水残留可能会导致薄膜的质量下降。水分子可以引入缺陷或不均匀性，这可能会影响薄膜的性能，特别是在微电子和光学应用中。
化学反应速率
水的存在可以影响反应速率。在某些情况下，水可能会促使前驱体气体更快地分解或反应，这可能会影响制程的控制性。在PEALD中，精确的反应速率控制非常重要，以实现均匀的原子层沉积。
薄膜的性能
水的残留量也可以影响薄膜的最终性能。一些应用可能需要极低的水含量，以确保薄膜具有所需的电子、光学或机械性能。
 |  |
| ▲以TDS分析PEALD制备之二氧化硅薄膜所含水气含量 | ▲红外线加热式热脱附质谱仪 TDS1200Ⅱ |
PEALD制程中水的残留量是一个需要仔细控制的关键参数，这需要制程工程师考虑到所需的薄膜特性以及前驱体的选择。透过热脱附质谱仪TDS分析水的残留量多寡，侦测极限达到ppb~ppt level，是量测超威量水分的最佳工具，提供制程工程师进行细致调整的重要信息，以满足制程的要求。
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