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XRF能谱判读教学
2023/04/21 16:29
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方案摘要：
产品配置单：
HITACHI EA1000AIII XRF荧光分析仪(有害物质检测）
型号： EA1000AIII
产地： 日本
品牌： 日立
¥30万 - 50万
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方案详情：
平常在使用桌上型XRF进行样品测试时，仪器会帮您判定RoHS管制的有害物质元素浓度是否超标，但假如您遇到测试结果NG，可以藉由XRF能谱判读来进一步分析。科迈斯今天针对这个问题提供浅显易懂的方法让各位桌上型XRF使用者对于能谱有初步的判读能力。
1. 能谱基本说明-何谓能谱和波峰
▲图1 能谱和波峰基本说明
·上图的X轴Y轴分别为：
X轴单位：eV，Electron Volt，电子伏特→影响样品里含有的元素
每个元素的荧光都不一样，有特定的位置。
▲图2 能谱X轴代表元素能量
Y轴单位：cps，Counts Per Second，每秒计数量→影响样品里元素的浓度
同类型的样品不同浓度，对应的「量」会不一样。(可见下图左、右二图差异)
▲图3 能谱Y轴代表元素强度
综合以上我们可以得知：
X轴上的波峰我们可以得知元素
Y轴上波峰的强度我们可以计算出元素浓度
▲图4 能谱波峰可得知元素和浓度
认识完能谱波峰对应元素和浓度的关系，再来可以进一步了解如何判断元素的波峰。
2. 如何判断波峰
首先认识元素的分析线—分析线是用来标示「理论上元素的波峰应该在的位置」。
▲图5 能谱中如何判断波峰
而判定的方法主要有三个原则：
A. 波峰是否在分析在线
B. 波峰是否为对称波峰，可能因干扰而波峰不对称
C. 复数个分析线有波峰，可能没有或看不到波峰
▲图6 判断原则的A、B、C
下面为三个原则做实例示范：依照A原则来判定下图的波峰，因为波峰不在分析在线所以此案例不符合A原则。
▲图7 判断原则的A
而依照B原则来看下图Pb的La分析线对应到的波峰不对称所以不符合B原则。
▲图8 判断原则的B
再来我们用C原则来分析下图，可以很明显地看到图中Pb的两条分析线只有左边一条对应到波峰上，右边另一条并没有波峰所以不符合C原则。
▲图9 判断原则的C
用ABC三个原则判定下图，分析线有波峰、波峰对称、有复数波峰上述条件皆符合，那我们几乎可认定该元素的存在。
▲图10 判断原则皆符合
经过以上的介绍相信大家对桌上型XRF的能谱判读有了初步的了解和认识，刚接触XRF能谱判读需要较多的测试结果和经验累积，也有些案例是使用者自己较难去判断的部分，可经由产生多重能谱让科迈斯技术服务团队协助判断。
科迈斯有专业的技术服务团队及测试RoHS项目的桌上型XRF设备能提供相关的技术服务，深耕业界多年在各产业领域也有许多经验，实务方面也处理过各种能谱方面的问题，如有无法判断或分析困难的案件欢迎与我们联系讨论。
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