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等离子体监控系统
PlasCalc 等离子体监测控制仪，实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量，通过高级过程控制系统及精密数据存取算法，只需3ms就可以获得测量结果。
特点
1、光学分辨率1.0nm(FWHM)
2、光谱范围 200-1100nm
3、快速的建模及存储实验方法
Recipe编辑器
Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等，能够快速简单的构建模块过程控制。
多种工具用于等离子体诊断
随PlasCalc配置的操作软件，集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长发生器（可以单独购买）用于类型确认，而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息。
PlasCalc 配置说明
| 光谱范围: | 200-1100 nm |
| 光学分辨率: | 1.0 nm (FWHM) |
| D/A 转换: | 14 bit |
| 数字I/O: | 8 x TTL |
| 模拟输出: | 4 x [0-10V] |
| 接口: | USB 1.1 |
| 功耗: | 12 VDC @ 1.25 A |
海洋光学离子检测仪PlasCalc的工作原理介绍
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企业名称
杭州谱镭光电技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91330106552697280T
成立日期
2010-04-29
注册资本
壹佰万元整
经营范围
服务:光电产品、科学仪器的技术开发、技术服务、成果转让;批发、零售:光电科学仪器,光电元器件,仪器仪表,计算机配件,五金交电;货物进出口(国家法律、行政法规禁止的项(目除外,法律、行政法规限制的项目取得许可证后方可经营);其他无需报经审批的一切合法项目。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
杭州谱镭光电技术有限公司
公司地址
浙江省杭州市西湖区塘苗路18号华星现代产业园D座301室
客服电话
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