薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量,对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同,可以分析单层或多层膜厚。
1、可分析单层或多层薄膜
2、分辨率达0.1nm
3、适合于在线监测
最常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和透射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。
可以进行多达三层的薄膜测量,薄膜和基体测量可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了大多数材料的n和k值数据库,用户也可以自己添加和编辑。
NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚和去除率测量,包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。
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企业名称
杭州谱镭光电技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91330106552697280T
成立日期
2010-04-29
注册资本
壹佰万元整
经营范围
服务:光电产品、科学仪器的技术开发、技术服务、成果转让;批发、零售:光电科学仪器,光电元器件,仪器仪表,计算机配件,五金交电;货物进出口(国家法律、行政法规禁止的项(目除外,法律、行政法规限制的项目取得许可证后方可经营);其他无需报经审批的一切合法项目。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
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