核心参数
产地类别: 国产
VTC-600-2HD是一款带有两个靶头的磁控溅射镀膜仪,其中一个靶头采用直流(DC)溅射,可溅射金属靶材制备金属膜,另一个采用射频(RF)溅射,可溅射金属和氧化物靶材,制备金属或氧化物膜.设备上安装有薄膜测厚仪可以实时监测薄膜的厚度。此设备可制作各种单层或多层薄膜,如铁电、导电,合金,半导体,陶瓷,介电,光学,氧化物和PTFE薄膜等。而且设备体积较小操作方便,是一套理想的实验工具。
技术参数
结构 |
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输入电源 |
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磁控溅射头 |
也可以根据自己的要求选择2个射频溅射头或3个射频溅射头,订购前需于本公司销售人员联系 |
真空腔体 |
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载样台 |
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气体流量控制器 |
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真空泵系统 | 配有一套分子泵系统(德国制作),采用一键式操作 |
薄膜测厚仪 |
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外形尺寸 | L1300mm× W660mm× H1200mm |
重量 | 160 kg |
质保期 | 一年质保期,终生维护 |
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企业名称
合肥科晶材料技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(中外合资)
信用代码
913401001490220724
成立日期
1997-06-19
注册资本
伍佰零肆万玖仟壹佰美元整
经营范围
材料制造、销售;科学仪器设备的生产、研发、销售及技术咨询;实验、测试及实验器械的租赁服务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
合肥科晶材料技术有限公司
公司地址
安徽省合肥市科学院路10号
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