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双靶磁控溅射仪--VTC-600-2HD

品牌: 合肥科晶
产地: 安徽
型号: VTC-600-2HD
报价: ¥5万 - 10万
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核心参数

产地类别: 国产

产品介绍

   VTC-600-2HD是一款带有两个靶头的磁控溅射镀膜仪,其中一个靶头采用直流(DC)溅射,可溅射金属靶材制备金属膜,另一个采用射频(RF)溅射,可溅射金属和氧化物靶材,制备金属或氧化物膜.设备上安装有薄膜测厚仪可以实时监测薄膜的厚度。此设备可制作各种单层或多层薄膜,如铁电、导电,合金,半导体,陶瓷,介电,光学,氧化物和PTFE薄膜等。而且设备体积较小操作方便,是一套理想的实验工具。


技术参数

结构

(点击图片查看详细资料)

输入电源

  • 220VAC 50/60Hz, 单相

  • 2000W  (包括泵)

  • 溅射电源

  • 安装有两个溅射电源

  • 直流(DC)电源:500W,针对于制作金属膜

  • 射频(RF)电源:600W,可制作氧化物和金属膜

  • 同时可选配300W的射频电源
      

磁控溅射头

  • 仪器中安装有2个磁控溅射头,而且都带有水冷夹层,可通入冷却水对靶材降温

  • 其中一个溅射头与射频电源相连接,主要是溅射绝缘性靶材

  • 另一个溅射头与直流电源相连接,主要溅射导电性靶材

  • 靶材尺寸要求:金属靶:直径为50mm,最大厚度1.5mm

  •              陶瓷靶:直径为50mm,最大厚度6mm

  • 仪器中标配一个不锈钢靶和氧化铝陶瓷靶

  • 溅射头所需冷却水:流速10ml/min(仪器中配有一台流速为16ml/min的循环水冷机)
       

也可以根据自己的要求选择2个射频溅射头或3个射频溅射头,订购前需于本公司销售人员联系

真空腔体

  • 真空腔体:300 mm Dia x 300 mm h,采用不锈钢制作

  • 观察窗口:  100 mm

  • 腔体打开方式采用上顶开,使得换靶更加容易
     

载样台

  • 载样台尺寸:140mm (最大可放置4"的基底)

  • 载样台可以旋转,其速度为:1 - 20 rpm (可调)

  • 载样台最高可加热温度为500℃,控温精度为+/- 1.0 °C

气体流量控制器

  • 仪器内部安装有2个质量流量计

  • 量程为:0-200sccm

  • 气体流量设置可以在6英寸的触摸屏上进行操作

真空泵系统

配有一套分子泵系统(德国制作),采用一键式操作

         

薄膜测厚仪

  • 一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上,可实时监测薄膜的厚度,分辨率为0.10 ?  

  • LED显示屏显示,同时也输入所制作薄膜的相关数据

外形尺寸

L1300mm× W660mm× H1200mm

重量

160 kg

质保期

一年质保期,终生维护



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合肥科晶离子溅射仪VTC-600-2HD的工作原理介绍

离子溅射仪VTC-600-2HD的使用方法?

合肥科晶VTC-600-2HD多少钱一台?

离子溅射仪VTC-600-2HD可以检测什么?

离子溅射仪VTC-600-2HD使用的注意事项?

合肥科晶VTC-600-2HD的说明书有吗?

合肥科晶离子溅射仪VTC-600-2HD的操作规程有吗?

合肥科晶离子溅射仪VTC-600-2HD报价含票含运吗?

合肥科晶VTC-600-2HD有现货吗?

工商信息

企业名称

合肥科晶材料技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(中外合资)

信用代码

913401001490220724

成立日期

1997-06-19

注册资本

伍佰零肆万玖仟壹佰美元整

经营范围

材料制造、销售;科学仪器设备的生产、研发、销售及技术咨询;实验、测试及实验器械的租赁服务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

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合肥科晶材料技术有限公司为您提供合肥科晶 双靶磁控溅射仪--VTC-600-2HD,合肥科晶VTC-600-2HD产地为安徽,属于国产离子溅射仪,除了 双靶磁控溅射仪--VTC-600-2HD的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多离子溅射仪,合肥科晶客服电话400-860-5168转2205,售前、售后均可联系。

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公司名称: 合肥科晶材料技术有限公司

公司地址: 安徽省合肥市科学院路10号 联系人: 科晶销售 邮编: 230031 联系电话: 400-860-5168转2205

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