等离子薄膜溅射仪

产品名称：等离子薄膜溅射仪 GSL-1100X-SPC-12

产品简介：GSL-1100X-SPC-12型等离子薄膜溅射仪是为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备，可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射，它也可以在高纯氩气的保护之下进行多种离子处理。用本设备处理的试样既可用于样品的外貌观察又可以进行成分分析，尤其是成分的定量分析更为适宜。本仪器装有分子泵，分子泵系统特别适用于对真空要求高、真空环境好的用户选用。
我公司供应的产品符合国家有关环保法律法规的规定（含采购商ISO14000环境体系要求），不会造成环境污染；
该产品符合采购商OHSMS18000职业安全健康管理体系标准的要求，不会对接触产品的人员健康造成损害！

主要特点：抽速快，操作简便，真空度高，安全可靠

技术参数：

●试样处理室

（1）钟罩：内径250mm×高度340mm

（2）玻璃处理室：

玻璃罩 A：内径88mm×高度140mm

玻璃罩 B：内径88mm×高度57mm

（3）试样台：直径40mm（最大）

（4）试样旋转：电动

（5）挡板：电动

（6）蒸发加热器：可同时安装两个加热器

●真空系统

（1）抽气系统：由分子泵、机械泵组成的高真空机组

（2）真空检测：热偶计、冷规

（3）常用真空度：1.3×10-2­ ~6×10-3Pa

（4）操作：手动

●处理电源

（1）高压电源：DC3千伏10mA连续可变，用表指示。

（2）低压电源：AC10V100A连续可变，电流用表指示。

（3）电源要求：AC220V 50HZ 10A

●气体要求

氩气纯度99.9%（对样品有特殊要求时可使用）

●冷却要求

本系统采用F100/110F―普通轴承风冷涡轮分子泵，其冷却方式为风扇强制风冷和通水冷却两种，当工作环境低于32℃时，可采用风冷冷却，当工作环境温度高于32℃时，则必须采用水冷。

重量：约150公斤

体积：L800mm×W560mm×H1340mm

可选配件：氧化铝坩埚，石英坩埚，真空泵等

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