中小尺度纳米深度3D形状检测仪/
大样品台测量显微镜 DX 6045
DX系列光学显微镜是针对中、小尺寸触控面板之Pattern进行观察、量测。DX系列采花岗岩底座设计,可抑制环境震动的影响,提高高倍率观察量测之效率。人性化计算机量测模式、移动方式采手动快速位移及定点微调,使操作更便利、量测更迅速。
花岗岩本体结构
X/Y铝合金平台机构
气浮式快速移动机构
OLYMPUS / Leica 光学系统可搭配5X/10X/20X/50X物镜
上、下偏光功能
Nomarski 微分干涉功能
高解析彩色CCD
专业影像量测软件
PC计算机
防震机构
实物影像
1、概要
本显微镜测定器是针对中、小型触控面板之Pattern进行其尺寸量测。
花岗岩本体结构设计,可抑制环境震动的影响,提高高倍率量测之效率。
操作方式采手动快速位移及定点微调,再利用测定软件进行影像测定。
2、特点
1、基座:落地型,采用强力钢管制造及花岗岩床台,附活动轮可自由、轻易移动位置。
2、设备任何操作钮,皆采前面平台操作设计,使操作更加便捷。
3、采用精密包覆式轨道安装设计。
4、采用U型无牙滚子导轨,具有高刚性及高精度的特点。
5、五孔电动物镜转换。
6、X、Y轴安装空气离合器、大移动机构。
7、四组被动式空气防震系统,六组防震脚座,防震系统佳。
3、主要规格
3-1 测定sample
1、sample尺寸:600 * 450mm
2、sample重量:20KG以下
3、最大测定物尺寸:X轴 = 800 mm、Y轴 = 700 mm
4、有效量测长尺寸:X轴 = 500 mm、Y轴 = 400 mm
3-2 Sample Stage
1、工作台面尺寸:800 * 700 mm
2、玻璃尺寸:560 * 460 * 12T mm
3-3 X、Y、Z轴
1、行程:600 * 450 mm (X、Y)
2、行程:150mm(Z)
3、X、Y驱动方式:采微调用手轮,最小微动可达1um,操作游戏杆分粗动
与微动两种速度调整。
4、Z轴采微调用手轮之操作,对焦容易。
3-4 可兼容OLYMPUS 或LEICA光学系统
3-5 机台尺寸:W1200×D760×H1400mm,落地型。
3-6 机台重量:800Kg
3-7 Utility:单相220V,20A,空压源4KG/cm2
3-8 环境:
1) 动作环境: 温度: 10~35℃,湿度:80%以下
2) 保存环境: 温度:-10~50℃,湿度:90%以下
3) 震动环境: 10HZ以下 振幅2um以下
10HZ以上 加速度0.2gal以下
4、影像量测软件系统:智能寻边影像版
影像功能 ;
校正功能 ;
SPC功能
企业名称
上海昭沅仪器设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310105000388085
成立日期
2010-12-14
注册资本
100
经营范围
销售实验室仪器仪表及耗材、电子产品、机电设备、家用电器、计算机软硬件、办公用品、日用百货、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品);实验仪器设备的安装及维修(限上门),商务咨询,仪器设备领域内的技术咨询、技术开发;从事货物和技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海昭沅仪器设备有限公司
公司地址
上海市浦东新区巨峰路1058弄新紫茂国际大厦3号901室
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