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是德科技桌面型场发射扫描电镜在半导体器件失效分析中的应用
2016/06/21 17:21
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是德科技桌面型场发射扫描电镜在半导体器件失效分析中的应用
半导体器件失效分析就是通过对失效期间进行各种测试和物理、化学、金相试验，确定器件失效的形式（失效模式），分析造成器件失效的物理和化学过程（失效机理），寻找期间失效的原因，制订纠正和改进措施。加强半导体器件的失效分析，提高它的固有可靠性和使用可靠性，是改进电子产品质量最积极、最根本的办法，对提高整机可靠性有着十分重要的作用。
在半导体器件失效分析方法中，以使用非破坏性的测试方法最为普遍，包括物理成像观察（光学显微镜、扫描电镜SEM+EDS)、化学分析(FT-IR)、结构分析(扫描电镜SEM或透射显微镜TEM截面分析)、电学性能分析、等。其中，扫描电镜SEM是使用最为广泛的检测工具。考虑到半导体器件的导电性能和失效分析对成像分辨的要求，目前主要使用场发射扫描电镜进行相关分析测试。Keysight FE-SEM 8500是市场上唯一一款桌面型场发射扫描电镜，低电压高分辨成像可以很好的完成绝大多数半导体器件的失效分析，同时简单易用的操作界面和高效实用的成像方法（无需喷金喷碳处理，直接观测），适用于各种不同水平的操作人员。
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