KLA 膜厚仪/测厚仪 F20/F32/F40/F50/F60

Filmetrics®经济实惠的膜厚仪系列，利用光谱反射技术，在几秒钟内就能完成高精度的薄膜厚度测量。这些易于使用的仪器与智能软件和一系列附件和配置相结合，具有极大的通用性，可测量从几毫米到450毫米大小，厚度从 1 纳米到 3 毫米的薄膜。被广泛应用于半导体、微电子和生物医学等领域。

产品描述

单点厚度测量

一键搞定的薄膜厚度和折射率台式测量系统。 测量 1nm 到 3mm 的单层薄膜或多层薄膜堆。

F20：全世界销量超级好的薄膜测量系统。有各种不同附件和波长覆盖范围。

F3-sX：该系列能测量半导体与介电层薄膜厚度到3毫米。

F10-ARc：可测量镜片和其他曲面的反射率，用于硬涂层厚度测量。

F10-RT：可同时测量反射率和透射率。 提供测量厚度和折射率的可选件。普遍应用于真空涂层领域。

F10-HC：测量硬涂层和防雾层厚度和折射率。聚碳酸酯硬涂层在汽车等行业应用普遍。

F3-CS：提供微小视野及微小样品量测。

F10-AR：测量眼科镜头和其他弯曲表面的反射率。 还可以提供测量硬涂层厚度和透射率的可选件。

微米（显微）级别光斑尺寸厚度测量

当测量斑点只有1微米（µm）时，需要用您自己的显微镜或者用我们提供的整个系统。

F40：可固定到您的显微镜上来测量小至 1 µm 光斑的厚度和折射率。

自动厚度测量系统

几乎任何形状的样品厚度和折射率的自动测绘。人工加载或机器人加载均可。

在线厚度测量系统

监测控制生产过程中移动薄膜厚度。高达100 Hz的采样率可以在多个测量位置得到。

附件

Filmetrics 提供各种附件以满足您的应用需要。

主要技术能力

以F20系列为例：

光谱波长范围：190-1700nm

厚度测量范围：1nm-250μm

测量n&k小厚度：50nm

准确度：取较大值，1nm或0.2%

分辨率：0.02nm

稳定性：0.05nm

光斑大小：1.5mm

样品尺寸：直径从1mm到300mm或更大

半导体薄膜：光刻胶、工艺薄膜、介电材料

液晶显示：OLED、玻璃厚度、ITO

光学镀膜：硬涂层厚度、减反图层

高分子薄膜：PI、PC

主要应用

由于其模块化的性质，F20可以适应多种应用：

1. 厚度、折射率、反射率、透射率的测量：

——单层或多层堆叠薄膜

——衬底材料

——液体薄膜或空气间隙

2. 适用于多种薄膜状态的测量，包括：

——在平面或曲面上

——现场尺寸可小到20微米

3. 量测样品种类：

几乎任何光滑的、半透明的或轻微吸收的薄膜都可以测量。这包括大多数介质和半导体。

适用行业

●    大学，实验室和研究所

●    硅和化合物半导体

●    精密光学和机械

●    MEMS：微机电系统

●    生物医学

●    还有更多：请与我们联系并探讨您的要求

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