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核心参数
产地类别： 国产
图像分辨率： 9072 ( H ) x 256 ( V )
像素尺寸： 5 µm x 5 µm
芯片尺寸： 45.36 mm x 1.28 mm
读出速度： 600 kHZ @ 10 bit
动态范围： 68.7 dB @ 12 bit
量子效率： 82% @ 550 nm
产品介绍
Dhyana 9KTDI Pro（简称：D 9KTDI Pro）背照式TDI 相机基于先进的sCMOS 背照式减薄和TDI 时间积分技术，采用可靠稳定的制冷封装技术，覆盖从180 nm 紫外到1100 nm 近红外宽光谱，有效提升紫外TDI线扫、弱光扫描检测能力，旨在为半导体晶圆缺陷检测、半导体材料缺陷检测、基因测序等应用提供更高效率、更稳定的检测支持。
180nm-1100nm 宽光谱
Dhyana 9KTDI Pro 采用背照式 sCMOS 技术，已验证的响应波段可覆盖180 nm - 1100 nm区域。256级 TDI技术可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可见光、近红外等弱光成像信噪比，提高设备检测精度。
600 kHz @ 9K 超高速线扫
Dhyana 9KTDI Pro 配备CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ 高速接口，其传输效率相当于背照式 CCD-TDI 相机的54倍，显著提升设备的检测效率。Dhyana 9KTDI Pro的相机行频最高可达 9K @ 600 kHz，为行业提供快速的多级TDI线扫描解决方案。
先进制冷降噪技术
相机高速运行时产生的大量热量，不仅会影响成像质量，还会引起测量结果的波动。鑫图先进水冷和风冷技术，确保相机制冷性能即使长时间运行也能保持稳定状态，降低设备误检率。
技术参数
| 型号 | Dhyana 9KTDI Pro |
| 传感器类型 | BSI sCMOS TDI |
| 传感器型号 | Gpixel GLT5009BSI |
| 量子效率 | 82% @ 550 nm, 50% @ 350 nm, 38% @ 800 nm |
| 彩色 / 黑白 | 黑白 |
| 对角线尺寸 | 45.4 mm |
| 有效面积 | 45.36 mm x 1.28 mm |
| 分辨率 | 9072 ( H ) x 256 ( V ) |
| 像素尺寸 | 5 µm x 5 µm |
| 操作模式 | TDI, Area |
| TDI 级数 | 4，8，12，32，64，96，128，160，192，224，240，248，252，256 |
| 扫描方向 | 正向，反向，触发控制 |
| 电荷转移效率 | ≥ 0.99993 |
| 位深 | 12 bit, 10 bit, 8 bit |
| 满阱容量 | 典型值：14 ke- @ 10 bit，15.5 ke- @ 12 bit |
| 动态范围 | 典型值：68.7 dB @ 12 bit，63.6 dB @ 10 bit |
| 最大线速 | 300 kHZ @ 12 bit, 600 kHZ @ 10 bit, 600 kHZ @ 8 bit |
| 读出噪声 | 7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit |
| 暗信号不均匀性 | 典型值：1.5 e- @ 12 bit，3.5 e- @ 10 bit |
| 光响应不均匀性 | 典型值：0.30 % |
| 制冷方式 | 风冷，水冷，制冷速度 5 ℃ / min |
| 制冷温度 | 低于环境温度 35 ℃（水冷） |
| Binning | 1 × 1, 2 x 1, 4 x 1, 8 x 1 |
| ROI | 支持 |
| 触发模式 | 触发输入, 扫描方向输入 |
| 触发输出信号 | Strobe out |
| 触发接口 | Hirose, HR10A-7R-4S |
| 时间戳精度 | 8 ns |
| 增益 | 模拟增益：x2 ~ x8, 步进 0.5，数字增益：x0.5 ~ x10, 步进 1 |
| 数据接口 | CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ |
| 光学接口 | M72 / 用户定制 |
| 电源 | 12 V / 8 A |
| 功耗 | < 75 W |
| 相机尺寸 | 100 mm x 100 mm x 145 mm |
| 重量 | 1800 g |
| 软件 | SamplePro |
| SDK | C，C++，C#，Python |
| 操作系统 | Windows，Linux |
操作环境 | 工作: 温度 0~40 °C，湿度 0~85%；储存: 温度 0~60 °C，湿度 0~90 |
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