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【环保安全】新型含氟电子特气的研发与应用

高麦克

2023/08/02 15:18

阅读:53

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在微电子、光电子器件生产过程中,从芯片生长到最后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体,因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子气体成本占IC材料总成本的5%-6%,虽然看似占比不大,但是很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。电子气体纯度每提高一个数量级,都会极大地推动半导体器件质的飞跃。

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目前,电子气体的本土化率较低,国产化市场空间大,半导体制程过程中用到的83种电子气体,其中35%已实现本土化,35%正在本土化,还有30%未进行本土化。

现在全球电子气体市场中含氟气体约占总量的30%,含氟电子气体是电子信息材料领域特种电子气体的重要组成部分。但由于传统的含氟气体对臭氧层破坏较大,在京都议定书框架内面临逐渐减量甚至禁用,开发新型、环保、安全的含氟电子特气已成为近年来国内外研究和产业化的热点,目前新型低GWP含氟气体包括COF2、CIF3、F2

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气体分析领域专家

北京高麦克主营的四大业务板块包括高麦仪器、高麦服务、高麦气体、高麦工程,可以为电子气体领域客户提供气相色谱仪、红外光谱仪、痕量水分析仪及配套的售后服务。此外,我司还可为客户搭建集成化的预处理体系及提供气体产业相关的设计、施工、验收等成套解决方案。

作为气体领域分析的专家,北京高麦克在含氟气体领域的分析应用包括SF6、NF3、BF3、CLF3、C3H8、C4F8、C4H6、CHF3、GeF4、HF、COF2等,为客户提供优质的产品与服务。欢迎关注高麦克微信公众号或致电咨询。


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