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MIDAC FTIR在六氟化钨中的应用
电子特气，即电子特种气体，是集成电路、平面显示器件、半导体晶圆、太阳能电池等电子工业生产过程中不可或缺的关键原材料。
六氟化钨（WF6）是目前钨的氟化物中唯一稳定并被工业化生产的气体，目前全球各国正在积极拓展六氟化钨的产能与下游应用领域。
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六氟化钨在电子工业中一般作为金属钨化学气相沉积（CVD）工艺的原材料，特别是用它制成的二硅化钨（WSi2）是一种高性能的导电陶瓷材料，可用作大规模集成电路中的配线材料。
此外，六氟化钨还可作为半导体电极的原材料、氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。
六氟化钨中氟化氢主要来源于两个方面：
一是合成的原料气三氟化氮（NF3) 中的氟化氢杂质，二是原料中的水分会与六氟化钨反应，生成氟化氢。
检测电子级六氟化钨中氟化氢可采用
MIDAC FTIR进行定性定量分析
表 1：MIDAC FTIR 性能参数
应用案例
国内某电子特气企业现场FTIR安装图
HF标气谱图
图中，我们实时监测的组分包括：C2F6 、C3F8、C4F8、CF4、CHF3、COF2、SF6、SiF4、SiH4
高麦 成立于1935年,
在中国、美国、日本、韩国等多个国家设有
技术、研发中心，生产、组装工厂、客户运营中心，
逐步形成以北京为总部，
在武汉、杭州，日照，台湾等地分别设立
技术研发和客户运营中心的生态网络，
全方位的为中国乃至全球客户
打造专属的气体行业解决方案。
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