MIDAC FTIR的应用

40多年以来，MIDAC一直致力于为客户寻找最佳的分析解决方案，是美国军用红外分析仪器和机载红外探测仪的主要合作伙伴，也是美国NASA太空科技中FTIR的唯一供应商。

MIDAC的傅里叶红外光谱仪（简称FTIR)因其坚固性、可靠性和易用性而享誉全球。具备多项唯一专利以及独一无二的化合物数据库。

应用场景

我们的客户及相关领域专家使用MIDAC FTIR分析包括：

• 气体在线实时分析与监测

• 完成交钥匙工程监控和排放测量

• 工业气体的水分分析，包括氨和其他腐蚀性物质

• 发电厂的实时过程监控

• 燃烧副产物（包括甲醛）的烟囱测试和分析

• 半导体和其他工业气体纯度和使用分析

• 工作场所和安全合规性室内设施空气分析和监测

• 汽车排放与催化转化器研究

• 天然气汽车和燃料电池研发与质量控制

• 可行性和研发研究

• 制造业的过程控制应用

• 工业卫生测量

目前应用最多最广的分析包括半导体尾气吸收效率的测试，以及含氟气体中水和氟化氢及其他杂质的测量等。

1）半导体尾气吸收效率测试

半导体制程生产过程中会用到大量的有毒腐蚀性、易燃的特殊气体、化学品及有机溶剂等材料。这些物质产生的废气由于其性质在排放过程中会引起一系列事故，所以需增加半导体尾气吸收装置，并使用FTIR在线移动实时监测。

图1 半导体尾气吸收装置与设备连接图

图2 某客户现场移动式FTIR

2）含氟气体中H₂O、HF等测试。

对于含氟气体中的氟化氢以及氟化氢中的水分检测，我们拥有成熟的方案并且经过了三星等国际半导体巨头的认证。

图3 六氟化物中氟化氢测试

图4 N₂中5ppm HF光谱图

图5 GOW-MAC气相与FTIR使用现场

MIDAC FTIR拥有定制化的样品池和检测器，拥有庞大且丰富的样品数据库，以及典型的前处理客户方案等。

图6 不同气体池长度对不同化合物的测量范围