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FTIR在高纯氟气中的应用

高麦克

2022/04/08 10:23

阅读:47

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高纯氟气发展


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高纯氟气(F2)是一种性质非常活泼的气体,具有强氧化性,能与大多数无机物或有机物在室温或低于室温下反应,释放较多的热量,常导致燃烧和爆炸。

高纯氟气因其特殊的性质,可作为氟化试剂用于无机含氟材料、有机含氟材料、半导体材料,被广泛应用于电子、激光技术、医药、塑料、石油化工、航空航天等领域,是化工领域的重要原料。

随着对氟气安全性不断认知和掌控,研究氟气性质、制备杂质分析应用等具有重要意义。


2

高纯氟气检测难点


1、具有极强的腐蚀性,气相色谱仪很难应用分析。

2、杂质含量低,且大部分具有腐蚀性。

3、极易与水反应生成HF,需短时间内进行快速分析。


3

高麦应用方案


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采用MIDAC I-系列FTIR光谱仪的10m气体池,分析高纯氟气中的杂质。最低检出限可达到:

HF : 0.07 ppm

CF4 : 0.1 ppm

CO2 : 0.1 ppm

CH4 : 0.1 ppm

SF6 : 0.01 ppm


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▲ 仪器特点


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高麦 成立于1935年,

在中国、美国、日本、韩国等多个国家设有

技术、研发中心,生产、组装工厂、客户运营中心,

逐步形成以北京为总部,

在武汉、杭州,日照,台湾等地分别设立

技术研发和客户运营中心的生态网络,

全方位的为中国乃至全球客户

   打造专属的气体行业解决方案。


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Since 1935.


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