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电子级NF3的分析检测
三氟化氮是一种腐蚀性气体。它具有较强的氧化能力,可用作火箭推进剂的氧化剂,还可用作等离子体工艺中的刻蚀气体,与其它气体混合,则可用于硅化物的刻蚀。用于蚀刻厚度小于1.5微米时，蚀刻速度快，选择性强。全球产能3万吨，国内占比3成。
三氟化氮有毒,在空气中的容许极限浓度为10μl/l,直接危害生命和健康的浓度为2000μl/l。三氟化氮对皮肤、肝脏、心脏和肾脏等有损害。
为了保证三氟化氮的质量，对三氟化氮的纯度技术指标标准如下：
为保证电子级nf3中的痕量杂质全部分析，仅需搭载三台高麦仪器即可全部检出：即gm 592 did气相色谱仪、midac i系列ftir、tiger halo 3 h2o分析仪 。
专利检测器产品证书u.s.pat.no.4,975,648
更新至第13代检测器
痕量气体分析ppb级别
定制化防腐蚀流路设计
可同时分析多种化合物组分
从ppb-百分比水平
涵盖了电子气市场上的几乎所有检测项目的数据库
配置midac的专利“干涉仪”
多种电子气中ppb级别的水分测量
绝对测量（无需校准气体）
量程广，高达4个数量级
三氟化氮样品气——gm 592 did气相色谱仪
hf样品气——midac i系列ftir
高麦 成立于1935年,
在中国、美国、日本、韩国等多个国家设有
技术、研发中心，生产、组装工厂、客户运营中心，
逐步形成以北京为总部，
在武汉、杭州，日照，台湾等地分别设立
技术研发和客户运营中心的生态网络，
全方位的为中国乃至全球客户
打造专属的气体行业解决方案。
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公司名称： 北京高麦克仪器科技有限公司
公司地址： 北京市大兴区盛坊路2号北京仪器仪表工业基地 联系人： 牛经理 邮编： 100076 联系电话： 400-860-5168转2023
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