超纯水粒子计数器在芯片行业里的应用

超纯水粒子计数器简介：

UP-200超纯水液体粒子计数器采用普洛帝核心技术创新型的第八代双激光窄光颗粒检测传感器，双流量控制-精密计量柱塞泵和超精密流量电磁控制系统，可以对清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片等产品进行在线或离线颗粒监测和分析，目前是普洛帝分析测试集团向水质领域及微纳米检测领域的重要产品。

超纯水粒子计数器优势：

技术：第八代双激光窄光检测技术应用；

软件：权限管控，数据库备份还原，电子记录、审计追踪；

输出方式：USB、LAN接口；RS232/485串口；其他通讯协议可定制；

清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片等产品的在线颗粒监测和分析，都是UP-200超纯水液体粒子计数器的经典应用场所，并为生产线上的重要组成部分。在线、实时、连续取样、报警功能，能够即时掌握颗粒污染诊断和趋势。

精滤设备、清洗机、生产线、运行系统、检测试验台等等，任何无人看护的现场，还是正在运转的设备，需要连续的监测和及时的数据，都是UP-200超纯水液体粒子计数监测系统的经典应用场所，并为生产线上的重要组成部分。

一体化的结构，RS232和模拟信号的输出，满足DCS和现场仪表显示的要求。

在线、实时、连续取样、报警提示，能够即时掌握分析颗粒的动态污染诊断和变化趋势。

液晶屏显示，薄膜按键操作，结果以颗粒大小、颗粒多少或评判等级及曲线等方式显示。

经济实用低成本，小型轻量易安装，抗干扰性强、耐高温高压、外壳坚固、在恶劣环境下使用。

超纯水粒子计数器评判标准：

v JJG 1061-2010 《液体颗粒计数器检定规范》

v SJ/T 11638-2016 《电子化学品中颗粒的测试方法》

v GB/T 29024.2-2016 《粒度分析 单颗粒的光学测量方法 第2部分：液体颗粒计数器光散射法》

v GBT 11446.3-2013 《电子级水测试方法通则》

v GBT 11446.9-2013 《电子级水中微粒的仪器测试方法》

v ISO 21501-2:2007 《Determination of particle size distribution — Single particle light interaction methods — Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter》

超纯水粒子计数器应用范围：

（1）单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装 、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件 、电容器洁净产品及各种元器件冲洗、清洗等生产工艺。

（2）电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。

（3）化工工艺用水、化学药剂、化妆品等。

（4）高压变电器的清洗等

超纯水粒子计数器技术参数：

订制要求：各类液体检测要求；

传感器：第八代双激光窄光检测器；

测试软件：V8.3分析测试软件集成版&PC版；

操作方式：彩色液晶触摸屏操作&无线键鼠组合；

检测范围：0.1-100um（0.03-3000um需选型)

精 确 度：≤±3% 典型值；

重合精度：≤±3% （≥1000粒/mL）；

检测时间：5s~120s；

压力范围：0～0.5MPa（不含减压阀）；0～31.5MPa（含减压阀）；

取样流速：5mL/min～100mL/min；

取样精度：≤±1%；

校准方式：乳胶球定值，可追溯到NIST标准；；

流体温度：0℃～80℃；

接口方式：卡套固定（标配），可定制尺寸和方式；

输出方式：USB、LAN接口；RS232/485串口；其他通讯协议可定制；

报警功能：操作软件或者声光报警功能；

模拟输出：4mA～20mA接口；并带超标报警功能（可定制）；     

报告方法：颗粒数/ml及污染度等级；

输入电压：100V～265V,50Hz～60Hz；

售后服务：普洛帝服务中心/中特计量检测研究院。