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超纯水颗粒计数器在线检测清洗晶圆后水质
超纯水颗粒计数器,如同一位精密的守护者,实时监测着水流中的微小颗粒。它的工作原理利用激光发光器穿透流经流通池的水粒子,激光光束被遮挡,运用电压信号的强弱来转换为粒子的大小和数量,使那些肉眼难以察觉的颗粒无所遁形。这些颗粒,虽然微小,但足以对晶圆的制造造成致命的打击,影响整个芯片的性能。
半导体
2024/07/24
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