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超纯水颗粒计数器在线检测清洗晶圆后水质

2024/07/24 11:17

阅读:10

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应用领域:
半导体
发布时间:
2024/07/24
检测样品:
其他
检测项目:
清洗晶圆后超纯水悬浮粒子颗粒大小和数量
浏览次数:
10
下载次数:
参考标准:
ISO21501-2

方案摘要:

超纯水颗粒计数器,如同一位精密的守护者,实时监测着水流中的微小颗粒。它的工作原理利用激光发光器穿透流经流通池的水粒子,激光光束被遮挡,运用电压信号的强弱来转换为粒子的大小和数量,使那些肉眼难以察觉的颗粒无所遁形。这些颗粒,虽然微小,但足以对晶圆的制造造成致命的打击,影响整个芯片的性能。

产品配置单:

分析仪器

在、离线去离子水液体颗粒计数器

型号: PMT-2QL

产地: 陕西

品牌: 普洛帝

¥52万

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PLD-GRS6全自动微量水分测定仪

型号: PLD-GRS6

产地: 陕西

品牌:

¥4.8万

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水溶性酸碱试验器

型号: PLD-259A

产地: 陕西

品牌: 普洛帝

¥7200

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进口水中颗粒物计数器

型号: OPC-2300

产地: 陕西

品牌: 普洛帝

¥9.8万

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设备配件

颗粒度专用取样瓶

型号:

产地:

品牌: 普洛帝

¥120

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高清洁输液取样瓶

型号:

产地:

品牌: 普洛帝

¥8888

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所需试剂

乳胶微粒粒度标准物质

型号: 250ml

产地:

品牌: 普洛帝

¥5800

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方案详情:

1、检测背景:在微电子和半导体行业的生产过程中,晶圆的清洗过程对于产品的性能至关重要。超纯水,作为这一过程中不可或缺的一环,其纯净度直接影响到晶圆的品质。为了确保超纯水的质量,我们引入了先进的超纯水颗粒计数器,进行在线检测,确保清洗晶圆后的水质达到最高标准。
2、检测仪器:超纯水颗粒计数器,如同一位精密的守护者,实时监测着水流中的微小颗粒。它的工作原理利用激光发光器穿透流经流通池的水粒子,激光光束被遮挡,运用电压信号的强弱来转换为粒子的大小和数量,使那些肉眼难以察觉的颗粒无所遁形。这些颗粒,虽然微小,但足以对晶圆的制造造成致命的打击,影响整个芯片的性能。



3.jpg

3、检测步骤: 在线检测意味着我们可以在水流通过晶圆清洗设备的瞬间,立即获取水质数据。这种即时的反馈,使我们能够迅速调整清洗参数,确保每一滴超纯水都达到最佳的清洁效果。

4、检测效果:清洗晶圆后的水质,经过超纯水颗粒计数器的严格把关,达到了前所未有的纯净度。这不仅提升了晶圆的品质,也为整个微电子和半导体行业的发展奠定了坚实的基础。我们坚信,只有对每一个细节都严格把控,才能打造出真正优质的产品,赢得客户的信任和市场的认可。




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