2016/07/07 10:53
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方案摘要:
产品配置单:
宽束氩离子抛光系统Gatan 697 Ilion II
型号: 697 Ilion II
产地: 美国
品牌: GATAN
¥100万 - 200万
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高分辨成像与光谱分析阴极发光成像系统Gatan Mono CL4
型号: MonoCL4
产地: 美国
品牌: GATAN
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方案详情:
电子束感生电流 (EBIC) 技术可通过测量样品或设备暴露于电子束时流动的电流,对半导体材料和设备的局部电气性能进行表征。
电子束射到半导体上时,会形成电子空穴对。如果载流子(即上文所述的电子空穴对)扩散到带有内置电场的区域,则电子和空穴将分离,电流将流
动。当电流流动到外电路时,EBIC 技术会测量该电流。在没有重组中心(自由电子和空穴湮没的位置)的材料中,收集到的电流将是均匀的,而且并
不相关。然而,引发电子和空穴重组的样品区域减少了收集电流,造成 EBIC 图中形成对比,因此揭示了半导体样品中(少数)载流子的流动。
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