利用 ColorSEM 技术进行 EDS 分析

2021-04-07 13:49

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资料摘要：

EDS 分析（能量色散 X 射线光谱，也称为 EDX 分析）是一项研究微米级化学成分的强大技术。通过结合扫描电子显微镜 (SEM)，EDS 从用电子束扫描样品时发射的 X 射线中获得组分信息。可检测的元素范围几乎涵盖了整个元素周期表，且 EDS 提供的数据对于很多应用第至关重要、从工艺/质量控制到故障分析和基础研究。因此，几乎每个 SEM 都配备了 EDS 系统。

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