电子束感应电流测量系统Gatan SmartEMIC

产品综合介绍：

产品功能介绍

EBIC分析系统，可以实时软件控制全自动采集电子束感生电流（EBIC）信号，获得EBIC图像信息，还可以获得IV曲线信息，最终可以测试PN结位置，宽度，少子扩散长度，材料或器件的失效点定位，广泛应用于电子半导体领域。

品牌介绍

美国GATAN公司成立于1964年并于70年代末进入中国市场。GATAN公司以其产品的高性能及技术的先进性在全球电镜界享有极高声誉。

作为世界领先的设计和制造用于增强和拓展电子显微镜功能的附件厂商，其产品涵盖了从样品制备到成像、分析等所有步骤的需求。产品应用范围包括材料科学、生命科学、地球物理学、电子学，能源科学等领域， 客户范围涵盖全球的科研院所，高校，各类检测机构及大型工业企业实验室，并且在国际科学研究领域得到了广泛认同。

经销商介绍

欧波同有限公司是中国领先的微纳米技术服务供应商，是一家以外资企业作为投资背景的高新技术企业，总部位于香港，分别在北京、上海、辽宁、山东等地设有分公司和办事处。作为蔡司电子显微镜、GATAN扫描电子显微镜制样设备及附属分析设备在中国地区最重要的战略合作伙伴，公司秉承“打造国内最具影响力的仪器销售品牌”的经营理念，与蔡司，GATAN品牌强强联合，正在为数以万计的中国用户提供高品质的产品与国际尖端技术服务。

产品系统特点：

高性能、地噪声EBIC系统，进行定量EBIC测量。界面友好的智能分析软件运行于DigitalMicrograph软件平台。

用于SEM的SmartEBIC 系统包括：

?计算机控制的、充电电池供电的EBIC放大器

?高级EBIC样品座(ASH)，并配有可调节的钨探针以进行台式接触。配以适当的Gatan适配器还可以通过空气锁来装载试样*

? 与SEM样品台接口

?链接插座及4个BNC型的电缆链接，低噪声这空馈通，适于EBIC和电子束流的测量

?具有Fireware技术的DigiScan II数字电子束控制系统。它包括两个模拟输入，可同时采集摄影质量的图像，并可灵活控制像素强度、每点驻留时间、扫描旋转等。对于某些SEM，它还可以通过软件通讯SEM的操作参数。

?配有先进的SmartEBIC应用插件的Digital Micrography软件，以进行定量测量、线性轮廓的实时和后处理分析

产品主要技术参数：

SmartEBIC可以对EBIC信号进行自动控制采集和定量分析:

扫描控制系统:

  1、1-, 2- or 4-比特数据采集提供了超大的动态范围

  2、从 16 x 1 至 8000 x 8000 像素扫描分辨率

  3、电子束停留时间，在0.5毫秒/像素到300毫秒/像素之间可调

4、自动调节图像显示大小，使得EBIC实验过程变得更方便

*5、配置Digi-Scan控制器，实时软件控制全自动采集，可以在EBIC信号的采集时就对信号进行定量分析，无需附加的后处理，

*6、不仅获得EBIC图像信息，还可以获得IV曲线信息。

噪音控制:

1. 特别设计的EBIC附属样品台

2. 同轴绕线方式

3. 可重复使用的铅酸电池 (15小时续航时间)

4. 可以改变放大器的增益，从而最优化数据采集的信噪比和带宽

5. 两种可选的一阶RC滤波器 ，低通或高通滤波

6. 低漂移放大模式

7. 在与PC通讯的时间以外，系统的微处理器会自动切换到睡眠状态

8. 丰富的图像处理工具。包含锐化工具、平滑工具和傅立叶变换工具等。 

   9. 可以适配与Lock-in技术（本系统并不提供，这样的配置系统将不会对EBIC信号定量分析）

追踪:

通过软件实现。在12bit（1.22mV）采集分辨率模时为+/-5V。

自动化:

即使在放大器参数设定欠佳的条件下，系统也能自动优化图像的显示大小，从而提供更方便的图像浏览

可以对放大器的偏移/增益进行自动设置

软件:

流程式一维扩散长度测量

广泛的面扫/线扫描分析工具，包括数学分析工具，滤波应用等

广泛的图像显示方案选项，包括二次电子图像与EBIC图像的叠加

编程语言可助您为自己的实验编写定制化软件

产品主要应用领域：

测试PN结位置，宽度，少子扩散长度金属材料

材料或器件的失效点定位

测试半导体材料的位错密度

IV特性测试

应用实例：

应用一：测试PN结位置，宽度，少子扩散长度

应用二：材料或器件的失效点定位