Theta Probe平行角分辨XPS微探针

Theta Probe平行角分辨XPS微探针

Thermo Scientific Theta Probe是一款小光斑X射线光电子能谱仪，无需样品倾斜即可进行角分辨谱收集，具备非破坏性超薄膜表征功能。
新兴技术依赖于固体表面次表面区域的工程改性。这些技术包括生物医学设备，表面改性聚合物以及应用于先进半导体器件的材料。对于这种类型的材料，确切了解表面几个纳米尺度内的组成至关重要。Theta Probe是一款通过平行角分辨XPS（PARXPS）测试的独特XPS。Avantage数据系统内的先进软件处理所有ARXPS数据，并生成准确的分析结果。

XPS是众多材料特性表征技术中行之有效的测试手段，目前已成为从生物材料到半导体材料等许多技术领域先进材料开发的重要工具。Theta Probe的角分辨特征使其成为表征材料表面数纳米组成的理想分析手段。这些包括自组装单层膜，表面改性聚合物以及半导体器件。

主要特征

高性能X射线光电子能谱仪

Theta专利技术提供了平行收集超过60°角范围角分辨X射线光电子能谱的独特能力，无需样品进行倾斜，允许仪器对超薄膜样品进行非破坏性表征。
X射线单色器用户可选光斑大小范围15μm至400μm
平行角分辨X射线光电子能谱（PARXPS）分析无需倾斜样品
具备安装大样品或多外样品
基于Windows的Avantage数据系统控制
CCD样品校准显微镜垂直于样品表面

透镜、能量分析器和检测器
光电子通过电磁透镜大角度（60°）收集
    如此大的接收角使灵敏度最大化，允许在PARXPS测试时大角度范围收集光电子
透镜轴线与一般样品成50°角，因此光电子在超过20°至80°角范围（相对于一般样品）内被收集
180°半球能量分析器输出面配置二维检测器
    二维检测器提供了多通道检测手段，拥有多达112个能量通道和多达96个角通道
Theta Probe中的透镜功能独特，因为它可以在两种模式操作：
普通模式，在没有角分辨测试需求时收集光谱
角分辨模式

X射线光源
所有Theta Probe仪器均配置微聚集单色器。
用户可以通过选择15μm至400μm范围内的光斑大小来定义分析区域面积。

深度剖析
数字化控制的EX05离子枪是可用于提供优异的深度剖析测试，即便使用低能离子
样品多方位旋转可用于最终的深度剖析测试。

样品安装

所有Theta Probe仪器均配置电机驱动五轴样品台。
样品台可安装大样品——移动范围X轴和Y轴70mm，Z轴（高度）25 mm。

真空系统

分析室使用5毫米厚钼合金材料制造，最大限度地提高磁屏蔽效率，而不是使用效率较低的内部或外部屏蔽。

样品制备
如需要，仪器可以配置系列制备室之一。

Thermo Scientific表面分析仪器和部件由Avantage数据系统控制：

软件集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成基于Windows的软件包，可以通过网络远程控制，轻易实现与第三方软件如微软Word软件兼容负责从样品分析到报告生成整个测试分析过程 。

产品应用领域

氧化石墨烯的物理化学变化测控、半导体晶片上的超薄薄膜结构分析、分层太阳能电池、触摸屏复合涂层的检测评估、等离子表面改性、钢铁表面钝化工艺评估、BN玻璃、MEA燃料电池、耐磨镀层石油催化剂成像、食品安全——聚合物包装材料、MAGCIS深度剖析单一头发纤维。